유럽 최대 나노-반도체 기술연구소인 IMEC가 반도체 한계를 극복하는 차세대 기술 개발에 성공했다.
유럽이 야심차게 추진해온 차세대 반도체 기술 개발에 성공함에 따라 미국과 아시아로 대변되는 반도체 산업 구도에 새 변화를 줄 전망이다.
IMEC는 10일(현지시각) 무어의 법칙을 뛰어넘는 프로젝트인 ‘시모어(CMORE)’가 첫 상용 결과물을 내놓았다. 이번 발표는 ‘ITF(IMEC Technology Forum) 프레스 초청행사’에서 이뤄졌다.
무어의 법칙은 선폭을 줄여 집적도를 높이는 것을 의미하지만, IMEC가 2008년부터 진행한 시모어는 이를 넘어선다. 시모어는 미세공정에 덧붙여 MEMS·포토닉스·바이오인터페이스 등 서로 이질적인 기술을 활용하는 방식이다. 이번에 내놓은 첫 성과물은 극자외선(EUV) 센서로, 향후 ASML의 EUV 리소그래피 툴에 들어가게 된다.
◇시모어, 무어의 법칙을 넘는다(More than Moore)=이번 결과물을 통해 IMEC는 시모어 프로젝트 가능성을 보여줬다. IMEC는 10나노대로의 진화를 통해 무어의 법칙을 따라가는 ‘모어 무어’ 프로젝트와 별도로 ‘무어의 법칙 그 이상(모어 댄 무어)’을 추진 중이다. IMEC는 기초기술 개발이나 고객 맞춤형 극소량 생산에만 집중한다. 시모어 또한 마찬가지다. 현재 IMEC는 20개 이상의 시모어 프로젝트를 진행하고 있는데 내년까지 5개 플랫폼을 소량 생산할 계획이다. 이번에 첫 단추를 꿴 것이다. IMEC는 이날 행사에서 EUV 센서 외에 획기적인 기술 시연에도 성공했다. 그 중 하나는 실리콘게르마늄 탄소(SiGe:C) 이종접합 양극성 트랜지스터(HBT·Heterojunction Bipolar Transistor)다. 새로운 소재를 사용함은 물론이고 서로 다른 물질을 접합한 것이다. IMEC는 이 트랜지스터가 무선통신과 이미징 분야 새로운 길을 열어줄 것이라고 설명했다. 최대 속도가 450㎓에 이르기 때문이다.
◇반도체 혁명이 인체 혁명까지=반도체 기술을 바이오와 접목한 ‘휴먼++’도 큰 관심을 끌었다. 초저전력 심전도칩(ECG·Electrocardiogram)과 무선통신을 위한 블루투스가 통합된 패치가 처음으로 공개됐다. 이 패치는 몸에 부착해 심전도를 체크하고 블루투스를 통해 인터넷으로 병원에 연결한다. 이 패치는 저전력 기술로 인해 무려 30일 동안 충전없이 작동이 가능하다.
뇌파를 분석하는 무선 헤어밴드(EEG)도 시연했다. 이 헤어밴드는 8개 센서가 부착돼 좋은 영상을 볼 때와 나쁜 영상을 볼 때 확연하게 다른 상태를 체크한다. 여기에 활용된 센서는 향후 DNA까지 분석할 것으로 기대된다. 이를 통해 증상이 나타나기 전에 유전병을 치료할 수 있는 도구로 활용할 수 있다.
루크 반 덴 호브 IMEC CEO는 “반도체는 지속 가능한 세상을 열어주는 핵심 기술”이라며 “IMEC은 에너지·바이오·CMOS 기술을 총동원해 반도체 관련 모든 생태계를 아우르는 프로젝트를 진행 중”이라고 말했다.
루벤(벨기에)=문보경기자 okmun@etnews.com
