대형 반도체·LCD라인 `세라믹 부품` 인기가도

　유해 가스나 플라즈마 발생이 많은 300㎜ 반도체 라인과 7세대 LCD 라인 가동으로 내식성·내구성세라믹 부품의 수요가 커지자 해당 업체들이 제품 개발에 적극 나서고 있다.

7일 관련 업계에 따르면 에스엔티가 알루미나·실리콘 소재를 중심으로 대형 제품 시장 공략을 강화하고 있으며 코미코·원익쿼츠 등도 세라믹 부품 사업을 확대하고 있다.

업계 한 관계자는 “세라믹 부품은 소모성이라 수요가 꾸준하고 대형 제품은 소재의 조성·소결에 기술력이 필요해 부가 가치가 높다”고 설명했다.

에스엔티(대표 이재홍)는 내식성이 강한 알루미나 세라믹 부품을 7세대 LCD 에처 장비 등에 공급하고 있으며 웨이퍼 배선폭 축소에 맞춰 장비 내 이물질 발생을 줄일 수 있는 실리콘 소재 부품 생산도 늘이고 있다. 이 회사 이재정 상무는 “현재 전년 동기보다 주문이 30% 이상 늘었고 대형 부품만 따지면 40% 증가했다”며 “3m 이상의 대형 기물까지 만들 수 있는 기술력을 바탕으로 올해 전년 대비 40% 증가한 325억원의 매출을 달성할 것”이라고 말했다. 또 콜드 스프레이 코팅, 실리콘카바이드(SiC) 등 신규 사업도 추진한다.

코미코(대표 전선규)는 기존 정밀 세정 사업 외에 세라믹소재 정전척(ESC)과 플라즈마 코팅 등 세라믹 부품을 신규 사업으로 육성, 올해 이 분야에서 100억원의 매출을 올린다는 목표다. 현재 세라믹 소재의 200㎜ 웨이퍼용 정전척을 판매 중이며 300㎜ 제품도 개발 중이다.

쿼츠 업체인 원익쿼츠(대표 최홍석) 쿼츠도 LCD 장비용 세라믹 부품 시장에 진출했으며 티씨케이(대표 이순창)도 SiC 코팅 로 3호기의 신규 가동에 들어갔다.

한세희기자@전자신문, hahn@