한백, TFT LCD 제조용 열처리 장비개발 착수

한백(대표 박근섭 http://www.hanvac.co.kr)은 LG필립스LCD, 경희대 장진 교수팀과 공동으로 그동안 수입에 의존해온 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 제조용 열처리(annealing) 공정장비의 국산화에 착수했다고 19일 밝혔다.

이 회사는 LG필립스LCD에서 폴리 실리콘(poly silicon) 소재를 제작할 수 있는 공정기술을, 장진 교수팀으로부터 기초기술을 각각 지원받고, 이를 자체시스템설계 및 제작기술과 접목해 내년 7월 중 제품을 출시할 예정이다.

박재연 사장은 『내년 중반 TFT LCD용 어닐링 장비의 국산화에 성공하면 향후 2004년에 연 6000억원에 이를 것으로 예상되는 전세계 관련장비시장에서 수입대체와 함께 매년 300억원 이상의 매출을 올릴 수 있을 것으로 기대된다』고 말했다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>