국내 연구팀 구리 산화 억제 가능성 확인...나노회로 금 박막 구리로 대체

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표면 거칠기에 따른 산소 침투 에너지 변화 및 투과전자현미경 표면 분석. 사진=정세영 부산대 교수

국내 연구진이 구리 산화 기원을 세계 최초로 원자 수준에서 규명하면서 산화되지 않는 구리 제조 가능성을 열었다.

과학기술정보통신부는 정세영 부산대 교수, 김영민 성균관대 교수, 김성곤 미시시피주립대 교수 연구팀이 단원자 층 수준 거칠기를 가진 초 평탄 구리 박막을 이용해 구리 산화 작동 원리를 이론과 실험에서 규명했다고 밝혔다.

연구진은 자체 개발한 박막 성장 장치(ASE)로 단원자 층 수준 초 평탄 구리 박막을 구현해 산화가 일어나지 않음을 확인했다.

고분해능 투과전자현미경 등을 사용해 1년간 공기 중에 노출된 초 평탄 구리 박막을 관측한 결과 일반적으로 구리 표면에서 관찰되는 자연 산화막은 물론 원자 한층 수준 산화조차도 관찰되지 않았다.

또 산소가 구리 내부로 들어가기 위한 에너지 변화를 계산한 결과, 표면 거칠기가 두 원자층 이상일 경우 구리 내부로의 산소 침투가 쉽게 진행되는 반면, 완벽하게 평평한 면 이거나 단원자 층일 때는 산소 침투를 위해 매우 큰 에너지가 필요해 상온에서는 산화가 일어나지 않음을 밝혔다. 초 평탄 박막 표면에 존재하는 산소는 산소가 존재할 수 있는 자리의 50%가 차면 더는 다른 산소가 접근하지 못하도록 밀어내 산화를 억제하는 자기조절 기능도 함께 확인했다.

연구팀은 산업 전반에 사용되는 구리 산화 원인을 정확히 밝힘으로써 경제적으로는 나노 회로 등에 사용되는 금을 구리 박막으로 전면 교체할 수 있는 계기가 될 것으로 보고 있다.

정세영 교수는 “높은 전기 전도도를 가진 구리에 의한 금 대체는 경제적 이점 및 장비 소형화 등에 기여할 수 있을 것”이라며 “변하지 않는 구리 제조 가능성을 열었다”고 말했다.

한편 과기정통부 개인 기초연구(중견연구) 및 집단연구지원(기초연구실) 사업 등 지원으로 수행된 이번 연구성과는 국제학술지인 네이처(Nature)에 17일 게재됐다.


이인희기자 leeih@etnews.com


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