네덜란드 출장길…ASML 방문 유력
물량 공급 논의로 TSMC 견제 포석
'초미세 칩' 생산·경쟁력 강화 나서
이재용 삼성전자 부회장이 글로벌 반도체 장비업체 ASML의 본사 소재지인 네덜란드 에인트호번으로 날아갔다. 현재 ASML이 세계 시장에 독점 공급하는 '극자외선(EUV) 노광기'를 경쟁사에 앞서 확보하기 위한 행보로 관측된다.
11일 업계에 따르면 이 부회장은 지난 8일 네덜란드 출장길에 올랐다. ASML 방문이 유력하다. ASML은 첨단 반도체 생산에 필요한 EUV 노광기를 세계에서 유일하게 생산하고 있다.
EUV 공정은 최근 반도체 업계에서 가장 많이 주목받는 기술 가운데 하나다. 웨이퍼 위에 빛으로 회로 모양을 반복해서 찍어내는 노광 공정에 쓰인다. 기존 불화아르곤(ArF) 광원보다 파장이 약 14분의 1 짧아 한층 반듯하고 균일한 회로를 형성할 수 있다.
삼성전자는 세계에서 처음으로 EUV 공정을 파운드리 사업에 적용했다. 칩 설계업체 제품을 위탁 생산하는 파운드리 공장에서 10나노 이하 초미세 칩을 가장 먼저 생산, 경쟁력을 확보하겠다는 전략이다.
국내 화성, 평택 공장 외 미국 오스틴 공장에도 EUV 인프라 구축을 고려하고 있는 만큼 EUV 시스템 물량 확보가 삼성전자 반도체 성장의 열쇠가 될 것으로 보인다.
삼성전자의 파운드리 사업 라이벌은 대만 TSMC다. 세계 파운드리 시장에서 50% 안팎의 점유율을 확보한 TSMC는 첨단 공정인 5나노 EUV 공정 기술과 인프라 확보 면에서 상당히 진전돼 있다는 게 업계의 평가다.
특히 이 회사는 올해 말까지 EUV 노광기 50대를 확보, 뒤를 바짝 쫓는 삼성전자와 인프라 격차를 갑절 이상 벌리는 전략에 나설 계획인 것으로 알려졌다.
EUV 노광기는 1500억원을 웃도는 초고가 장비다. 그러나 첨단 반도체 개발에 필요한 데다 ASML에서만 생산되고 있어 굵직한 고객사를 확보하기 위한 삼성전자와 TSMC 간 확보전이 치열해질 수밖에 없다.
TSMC는 ASML에 한 해 생산할 수 있는 EUV 노광기 40여대 전량을 자사에 공급할 것을 요청한 것으로 전해졌다. 이 부회장은 이번 네덜란드 출장으로 장비 확보전에 직접 뛰어들면서 TSMC 견제에 나선 것으로 풀이된다.
업계에 따르면 삼성전자가 내년 ASML에서 공급받는 EUV 노광기 예약 대수는 10대 안팎이다. ASML의 한 해 EUV 노광기 생산량 가운데 약 25% 규모다. 그러나 이 부회장의 네덜란드 방문 이후 ASML 판매 전략과 공급량이 얼마든지 수정될 수 있다는 게 업계의 분석이다.
특히 ASML이 향후 가격 협상 시 우위를 확보하기 위해 TSMC 의존도를 낮춰야 하는 상황이어서 이 부회장의 제안을 반길 수 있다는 의견도 있다.
업계 관계자는 “삼성전자의 초고위층 경영진이 ASML 본사를 방문한 사례는 있지만 이 부회장이 직접 ASML을 찾아 관계자를 만나는 것은 무게감 자체가 달라 변화가 있을 수 있다”고 전했다.
이 부회장은 과거에도 첨단 인프라 구축을 위해 직접 움직인 바 있다. 지난 2016년 유기발광다이오드(OLED) 증착 장비 확보 경쟁이 치열해지자 이 부회장은 일본 캐논 도키와의 장기 계약을 위해 현지로 직접 날아가 장기 계약을 성사시켰다. 이후 삼성디스플레이는 소형 OLED 디스플레이 패널 시장에서 80%를 웃도는 점유율을 확보했다.
강해령기자 kang@etnews.com
