어플라이드머티어리얼즈코리아(대표 강인두)는 원자 수준의 식각 정밀도와 높은 선택비(Selectivity)를 제공하는 식각장비 `어플라이드 프로듀서 셀렉트라(Applied Producer Selectra)`를 출시했다고 30일 밝혔다.
셀렉트라 시스템은 작은 공간으로 침투해 원자수준의 식각 정밀도와 높은 선택비를 제공한다. 정확하게 잔여물을 처리하며 다른 물질에 손상을 주지 않고 목표한 물질을 식각하는 정밀도를 갖췄다. 미세 공정으로 식각 공정의 중요성이 커진 패터닝, 로직, 파운드리, 3D 낸드, D램 등 칩 시장을 겨냥했다.
샨카 벤카타라만 어플라이드머티어리얼즈 식각장비 부문 부사장은 “고집적도 칩 생산이 점차 어려워지는 이유 중 하나는 다층 구조상에서 다른 층 물질을 손상하지 않고 원하는 물질을 선택적으로 식각해야 하기 때문”이라며 “셀렉트라 시스템은 무어의 법칙 구현에 요구되는 높은 수준의 선택비를 제공한다”고 말했다.
한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com
