울산과기대(UNISTㆍ총장 조무제)와 하이테크 장비 공급 전문업체 엘란테크놀로지(대표 이상윤)는 10일 울산과기대에서 ‘전자빔 리소그래피(E-Beam Lithography) 장비도입 및 공정서비스 제공을 위한 시험용역 계약’을 체결했다.
이 계약으로 UNIST는 엘란테크놀로지의 전자빔 리소그래피 장비 도입과 함께 전자빔 리소그래피 장비를 활용한 디바이스 제작 공정 서비스와 장비 교육을 무상으로 지원받는다. 또 엘란테크놀로지는 울산과기대의 전자빔 리소그래피 장비를 유상으로 이용해 나노·멤스 디바이스를 제작, 지역 내 대학 및 산업체 등에 제공할 계획이다.
울산=임동식기자 dslim@etnews.co.kr
