광주나노기술집적센터, 미국 BMR테크놀러지와 공동 협약 체결

한국생산기술연구원 광주나노기술집적센터(센터장 신동찬)는 최근 미국 반도체 장비업체인 BMR테크놀러지(대표 라윤주)와 나노기술(NT) 산업발전을 위한 공동 사업을 추진하기로 합의(MOU)했다고 25일 밝혔다.

이에 따라 광주나노센터는 BMR테크놀러지와 △반도체 및 디스플레이용 화학기상증착장비(CVD) 개발 △개발장비의 평가 △박막 증착 및 패터닝 공정개발 △기술·정보·인적 교류의 활성화 사업을 벌일 방침이다.

특히 BMR테크놀러지는 광주 나노기술센터와 협력해 광주지역에 한국 연구·개발(R&D)센터를 설립해 올해부터 3년간 200만달러를 투자하고 20여 명의 연구인력을 채용할 계획이다. 이 회사는 R&D센터 설립에 이어 향후 장비생산 공장을 설립해 반도체 공정용 CVD 장비의 국내 생산 거점으로 활용하기로 했다.

지난 1996년 설립된 BMR테크놀러지는 반도체 공정장비 핵심 부품 개발업체로 플라즈마 소스(Plasma source )개발을 시작으로 CVD와 식각장비(etcher) 및 박리장비(asher) 등을 생산하고 있다.

한국생산기술연구원이 주관하고 있는 광주나노기술센터는 산자부 등으로부터 총 782억 원을 지원받아 광주첨단산업단지에 센터 건물을 착공중이며 △디스플레이 및 반도체 관련 나노공정·장비 국산화 △나노측정 및 분석장비 개발 △나노 인프라 및 네트워크 구축 △고급인력 양성 등의 사업을 벌여 나갈 예정이다.

광주=김한식기자@전자신문, hskim@