권원택 케이씨텍 사장은 국산 반도체 장비 개발과 생산으로 수출 확대 등 국가 경제에 기여했다는 공로를 인정받아 대통령 표창을 수상했다. 권 사장은 국내 유일 화학적기계연마(CMP) 장비를 개발하고 외산과 대등한 성능으로 양산 적용했다.
일본 의존도가 높은 반도체 감광제(포토레지스트) 관련 기술 자립에도 크게 기여했다. 국내 기업과 기술 협력 및 개발 방향 제시로 약 30%의 장비를 국산으로 대체했다. 반도체 노광 공정 기술 개발 주역으로 관련 특허 26건을 출원했다.
권동준기자 djkwon@etnews.com
