국내 최대 반도체 산업 전시회 '세미콘 코리아 2020'이 내년 2월 5일부터 7일까지 사흘간 서울 코엑스에서 열린다. 올해 반도체 시장은 메모리 가격 하락으로 투자가 침체했지만 조금씩 가격이 안정화되고 내년부터 설비 투자가 재개될 것이라는 기대감이 형성되고 있다. 이와 함께 반도체 초미세 공정 개발이 계속되면서 이를 뒷받침할 새로운 장비·소재 기술에 대한 관심도 커졌다. 본지는 세미콘 코리아 2020에 참여하는 주요 기업과 솔루션을 미리 살펴보는 기획 시리즈를 마련했다. 이를 통해 내년 세계 반도체 시장에서 어떤 기술과 제품이 영향력을 끼칠지 가늠해본다.
반도체·디스플레이 진공 드라이펌프와 배기처리 장치를 공급하는 에드워드코리아는 올해 설립 100주년을 맞아 새로운 도약을 준비하고 있다. 이 회사는 일반 산업용 저진공 드라이펌프, 첨단 산업용 초고진공 드라이펌프, 유해물질 배기처리 설비 등을 공급한다.
반도체가 초미세 공정으로 진화할수록 진공 설비와 배기처리 설비 기술 난도도 높아진다. 공정이 미세화할수록 특수가스와 재료 사용량이 늘어나기 때문이다.
자칫 배기처리 과정에 문제가 생기면 생산라인이 멈추는 등 생산에 막대한 차질이 발생할 수밖에 없다. 인체에 유해한 성분을 빨리 소각해 공장 외부로 빼내야 하므로 근로자 안전 문제와도 직결한다. 고객사가 안정적으로 제품을 생산하면서 동시에 근로자 안전과 환경을 동시에 고려해야 하는 만큼 배기처리와 진공 설비는 높은 신뢰성과 기술이 요구되는 품목 중 하나다.
에드워드코리아는 세미콘 코리아 2020 전시회에서 반도체 초미세 공정에 효율적으로 대응할 수 있는 새로운 건식펌프 시리즈를 공개할 예정이다.
새로 선보이는 'iXM 시리즈'는 식각 공정에 사용하는 저전력 저온 건식펌프다. 뛰어난 저소음 저진동 기능을 갖춘 에너지 절감형 제품이다. 친환경 공정을 위해 이전 세대 제품보다 에너지 소비를 60% 절감해 친환경성과 비용 절감 효과를 동시에 제공한다.
넓은 범위의 온도 내구성을 갖춘 건식펌프 'iXH 시리즈'도 선보인다. 펌프로 유입된 공정 부산물과 가스를 더 빠르고 많이 이송할 수 있게끔 힘이 세졌다. 프로세서 가스 응축, 펌프 내부 로터와 스테이터의 표면 코팅 때문에 발생하는 부산물 축적과 내부 부품 부식을 최소화한다.
에드워드코리아는 1984년 국내에 진출한 후 현재 1000여명이 근무하는 주요 생산·연구개발 기지로 성장했다. 특히 2011년 설립한 천안 공장은 에드워드가 세계서 가장 큰 규모로 투자한 생산·연구개발 인프라다.
에드워드코리아는 천안에서 최첨단 반도체용 제품인 극자외선(EUV) 대응 일체형 설비를 생산한다. 한국이 세계 메모리반도체 시장을 이끄는 만큼 첨단 제품을 안정적으로 생산할 수 있는 기술과 품질 확보를 위해 선제적으로 연구개발하고 있다. 주요 제품 생산과 연구개발을 대부분 한국에서 수행하고 있어 국내 시장 고용창출과 경제 효과에 이바지하고 있다는 자부심도 크다.
윤재홍 에드워드코리아 대표는 “에드워드가 생산하는 설비에 사용하는 부품의 70%를 국산화했다”며 “국내 300여개 기업과 협력 관계를 맺고 주요 부품을 공동 개발한 성공 사례를 만들었고 꾸준히 교육사업도 전개하고 있다”고 강조했다.
그는 “해외 선진 기술의 국내 투자를 유치하고 함께 기술을 발전시켜 나가는 것도 효율적인 장비 국산화 방법”이라며 “기술 개발, 국내 경제에 미치는 파급 효과, 해외 국가·기업 간 협력 전략 등을 감안할 때 여러모로 긍정적이라 생각한다”고 덧붙였다.
배옥진기자 withok@etnews.com
