SK머티리얼즈, 연내 샘플 공급 목표로 '에칭가스' 생산 준비 그룹 차원 '내재화' 의지 반영...내년 상반기 중 본격 양산 기대
SK가 반도체 제조에 사용되는 고순도 불화수소 국산화에 전격 착수했다. 이달 초 일본 정부의 대 한국 수출 규제 이후 나온 SK그룹 차원의 대응 조치로, 계열사를 통한 국산화 카드를 꺼내들었다. 일본의 경제 보복이 확대·장기화 공산이 커진 가운데 국내 반도체업계도 숨겨 놓은 전략을 하나씩 꺼내 들고 있다.
25일 업계에 따르면 SK그룹 계열 SK머티리얼즈가 올해 안 샘플 공급을 목표로 불화수소 생산 준비에 나선 것으로 확인됐다.
SK머티리얼즈 관계자는 “현재 관련 생산 설비를 개발하고 있다”면서 “올해 말 샘플 공급이 목표”라고 밝혔다.
SK머티리얼즈가 준비하고 있는 불화수소는 '에칭가스'다. 반도체 회로를 깎는 식각 공정과 실리콘 웨이퍼의 이물질을 제거하는 세정 공정용이다. 반도체 제조에는 액상 형태의 불화수소와 기체 두 가지가 혼용돼서 쓰인다. 액상 제품이 '식각액'(에천트)이고, 기체는 '에칭가스'다.
SK머티리얼즈는 자체 기술을 바탕으로 기체 형태의 불화수소, 즉 에칭가스를 만들어 반도체업계에 공급한다는 계획이다. 샘플이 나오는 시점이 올해 말께임을 감안하면 본격적인 양산 및 공급은 내년 상반기 중으로 예상된다.
SK머티리얼즈는 1982년부터 반도체 소재를 전문적으로 만들어 왔다. 반도체, 디스플레이, 태양전지 등에 사용되는 삼불화질소(NF3)를 국내 최초로 국산화하는 데 성공했다. 또 육불화텅스텐(WF6)과 같은 증착 가스, 석유화학·철강 등에 적용되는 산업가스를 공급하고 있다.
대백물산으로 출발해 2008년 OCI에 편입됐고, 2015년에는 SK가 OCI머티리얼즈를 인수하면서 SK그룹 계열사가 됐다. SK머티리얼즈가 불화수소 제조에 나서는 건 처음이다.
회사 측은 “그동안 원료가 되는 불소(F)를 다뤘고 정밀 가스 기술력과 노하우가 축적돼 고순도 불화수소를 제조할 수 있는 기반을 갖춘 것으로 판단했다”고 전했다.
생산능력(CAPA) 등 SK머티리얼즈의 구체적 투자 규모는 확인되지 않았다. 또 품질 검증을 거쳐야 해 실제 반도체 공정에 적용될 지 여부는 미지수다.
그러나 SK머티리얼즈의 불화수소 사업 진출이 일본 정부의 수출 규제 조치 이후 본격 가동됐다는 점에서 주목된다. 핵심 반도체 소재를 내재화하겠다는 SK그룹의 의지가 반영된 데다 특히 일본 정부가 수출 규제 대상에 올린 불화수소(에칭가스)를 직접 제조하겠다고 나선 것이기 때문이다. 내재화 비중이 높을수록 일본 소재는 자연스럽게 설 자리를 잃게 된다. '탈 일본화'의 시작인 셈이다.
반도체업계 관계자는 “일본산 불화수소 공급이 언제 다시 정상화될지 불투명하고 오히려 일본의 경제 보복이 확대, 장기화될 조짐을 보임에 따라 SK하이닉스 반도체 사업의 영속성 확보를 위해 SK그룹 내 특수 가스 전문 계열사인 SK머티리얼즈가 나선 것”이라고 풀이했다.
업계에 따르면 SK하이닉스와 삼성전자는 일본의 경제 보복을 예상해 지난해부터 핵심 소재 국산화와 공급처 다변화를 준비한 것으로 알려졌다.
에칭가스는 SK머티리얼즈가 국산화에 본격 나선 모습이고, 식각액은 국내 솔브레인이 국산화 대안으로 꼽히고 있다. 솔브레인은 이미 삼성전자와 SK하이닉스에 자체 개발한 에천트를 납품하고 있으며, 애초애 올해 말로 계획한 증설을 9월 말로 앞당긴 것으로 알려졌다.
윤건일 전자/부품 전문기자 benyun@etnews.com, 강해령기자 kang@etnews.com
