어플라이드머티어리얼즈는 26일 인라인 고해상도 전자빔 검사(E-Beam Review, EBR) 시스템을 출시했다.
고해상도, 유기발광다이오드(OLED) 등 차세대 디스플레이는 공정 단계가 더 복잡해진다. 이 과정에서 미세한 오염물질이 발생해 패널에 결함을 야기할 가능성이 커진다.
현재 사용하는 디스플레이용 인라인 자동광학결함검사장비는 중대한 결함과 사소한 결함의 구분, 체계적인 결함 원인을 발견하는 기능이 주사전자현미경(SEM)에 비해 효과적이지 않다고 어플라이드는 설명했다. 기존 SEM 분석은 유리 기판을 조각조각 쪼갠 후 개별 조각을 현미경으로 검사해야 하므로 시간과 비용이 많이 들고 전체 패널에서 결함 위치를 판별할 수 없는 것이 단점이다.
어플라이드는 이런 단점을 보완해 새로운 인라인 EBR 시스템을 개발했다. 빠르고 효과적으로 중소형과 대형 디스플레이에 걸쳐 주요 결함을 발견하고 문제를 해결할 수 있도록 돕는다. OLED와 LCD 공정에 모두 사용할 수 있다.
준마 중국 티안마전자 부회장은 “어플라이드의 이번 EBR 시스템은 중국 우한 팹 가동시간 단축을 도왔고 빠르게 차세대 디스플레이 기술을 개발하는 데 일조했다”고 말했다.
어플라이드는 세계 디스플레이 제조사 6곳이 EBR 시스템을 주문했다고 밝혔다.
어플라이드는 “빠르고 비용 효율적으로 수율을 극대화하고 새로운 형태의 패널을 신속하게 출시하려는 움직임이 크다”며 “EBR 시스템 수요가 점점 커지고 있다”고 말했다.
배옥진 디스플레이 전문기자 withok@etnews.com
