폭이 2500㎜에 이르는 대형 디스플레이를 한 번에 처리할 수 있는 대기압 아르곤(Ar) 플라즈마 발생장비가 개발됐다. 아르곤 가스를 사용하면서 이같은 초대형 사이즈를 구현한 것은 이번이 세계에서 처음이다. 8.5~9세대 디스플레이 공정개선과 혁신에 크게 기여할 것으로 기대된다.
대기압 플라즈마 장비 전문업체 에이피피(대표 강방권)는 1500㎜ 사이즈인 기존 대기압 아르곤 플라즈마 장비의 폭을 지난해 말 2300㎜로 늘린데 이어 최근 또다시 2500㎜로 확대한 신제품 ‘HD-2500C’를 개발, 오는 17일부터 19일까지 중국 상하이에서 열리는 ‘FPD 차이나’ 전시회에 출품한다고 10일 밝혔다.
에이피피가 이번에 개발한 2500㎜ 대기압 아르곤 플라즈마 장비는 무게가 질소를 사용하는 같은 사이즈 플라즈마 장비에 비해 3분의 1에서 5분의 1 정도로 가벼워 다루기가 한결 쉬운 것이 특징이다. 플라즈마 발생장비는 디스플레이나 반도체 제조 공정에 모듈 형태로 적용한다.
특히 저온폴리실리콘(LTPS) 또는 옥사이드 TFT 제조공정에서 클리닝·에칭·애슁 등 다양한 용도로 활용할 수 있어 고화질 셀 제작과 수율 향상 및 품질 개선에 유용하다. 대기압 아르곤 플라즈마 장비는 세정 능력이 탁월해 고정밀 세정 솔루션으로 적합하다.
강방권 사장은 “이번에 개발한 제품은 국내 대기업에 공급, 성능을 검증받았다. 이번 전시회에서는 일본과 중국 디스플레이 업체에 처음 선보이는 것”이라며 “이번 제품 개발로 에이피피는 9세대 디스플레이까지 커버할 수 있는 다양한 사이즈의 대기압 아르곤 플라즈마 장비를 갖추게 됐다”고 말했다.
김순기기자 soonkkim@etnews.com
