에피밸리, MOCVD 시험 가동

발광다이오드(LED) 에피웨이퍼·칩 전문업체 에피밸리(대표 장훈철)는 주성엔지니어링(대표 황철주)과 공동 개발한 유기금속화학증착장비(MOCVD)가 시험 가동에 들어간다고 15일 밝혔다.

양사는 지난해부터 지식경제부 ‘신성장동력 스마트 프로젝트’ 일환으로 국산 MOCVD 개발에 착수한 바 있다. 이번에 시험 가동할 MOCVD는 경상북도 구미 양산라인에 바로 설치되며, 기존 장비 대비 웨이퍼 처리능력이 3배 정도 높다고 회사 측은 설명했다.

안석현기자 ahngija@etnews.co.kr