반도체 소부장

에피밸리, MOCVD 시험 가동

전자신문을 선호 매체로 추가

발광다이오드(LED) 에피웨이퍼·칩 전문업체 에피밸리(대표 장훈철)는 주성엔지니어링(대표 황철주)과 공동 개발한 유기금속화학증착장비(MOCVD)가 시험 가동에 들어간다고 15일 밝혔다.

양사는 지난해부터 지식경제부 ‘신성장동력 스마트 프로젝트’ 일환으로 국산 MOCVD 개발에 착수한 바 있다. 이번에 시험 가동할 MOCVD는 경상북도 구미 양산라인에 바로 설치되며, 기존 장비 대비 웨이퍼 처리능력이 3배 정도 높다고 회사 측은 설명했다.

안석현기자 ahngija@etnews.co.kr

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