구자용 한국표준과학연구원 전략기술연구본부 나노측정센터 책임연구원이 정년까지 안정적인 연구활동을 보장하는 ‘영년직 연구원’으로 선정됐다.
구 연구원은 반도체 소자의 고집적·고성능화를 앞당길 수 있는 초정밀측정 연구결과를 발표, 그동안 골치를 썩이던 반도체 소자의 수율저하 문제를 해결했다. 구 연구원은 자체 기술로 개발한 주사관통 현미경(STM)을 이용, 100조분의 1 기압의 초고진공 환경에서 실리콘 웨이퍼 위에 결합된 물분자 하나씩을 관찰하고 실리콘 원자의 개수와 비교하는 초정밀 측정을 통해 물분자가 실리콘 웨이퍼 위에서 자발적으로 분해돼 실리콘 원자들과 결합하는 과정과 결합 후의 원자구조를 밝혀냈다. 현재 표준연은 3명의 영년직 연구원을 보유하고 있다.
