코스텍시스템 배준호 사장

　“한국의 브룩스오토메이션을 꿈꾼다.”

　반도체 전공정 장비용 진공클러스터툴을 개발하고 있는 코스텍시스템의 배준호 사장은 다가올 300㎜ 웨이퍼 시대에는 세계적인 반도체공정 자동화장비업체인 브룩스오토메이션과 어깨를 나란히 하겠다는 야심을 갖고 있다.

　배준호 사장은 디아이·선익시스템·주성엔지니어링 등에서 실제 장비개발에 참여한 하드웨어 전문가. 다양한 반도체회사에서 쌓은 경험을 바탕으로 배 사장은 지난해 4월 코스텍시스템을 설립했다.

　장비국산화가 잘 이루어지지 않는 이유는 공정 및 소프트웨어 전문가는 많지만 진정한 하드웨어 전문가가 없기 때문이라는 배 사장은 그 누구보다도 실전경험을 중시한다.

　따라서 코스텍시스템은 실제 현장에서 장비에 대한 의견개진이 활발히 이루어지고 이는 곧바로 반영이 된다.

　1년간 6억원의 개발비를 투입, 300㎜ 웨이퍼 공정용 진공클러스터툴을 개발하고 국내 한 전공정 장비회사에서 성능평가를 마쳤으며 다른 전공정 장비회사에도 납품할 예정이다.

　이 장비는 웨이퍼를 PM(Process Module)으로 이송하는 진공 로봇과 진공 체임버, 고청정 상태에서 웨이퍼를 핸들링하는 EFEM(Equipment Front End Module)과 로드포트로 구성됐다. 이번 개발에서 설치면적 및 제작원가를 20%씩 감소시켰으며 개발과정에서 획득한 일부기술에 대해 특허 출원중이다.

　기술력을 인정받아 산업자원부에서 추진중인 부품·소재기술개발 사업체로 선정되기도 한 코스텍시스템은 10월경 기술성 평가결과를 바탕으로 투자를 유치할 수 있을 것으로 기대하고 있다.

　배 사장은 최근 열린 세미콘웨스트 2001에서도 반가운 소식을 안고 돌아왔다. 외국의 한 공장자동화업체를 통해 미국·독일 등지에 자사의 로드포트를 공급하기로 한 것. 초기물량은 20만달러 어치로 그다지 많지는 않지만 세계로 뻗어 나가기 위한 발판을 마련했다.

　“도전이 있는 곳에 미래가 있습니다.”

　항상 긍정적인 사고로 국내외 웨이퍼 이송장비 시장을 장악하고 있는 브룩스오토메이션의 아성에 도전하고 있는 배 사장은 올해 기술적인 인프라를 갖춘 후 내년부터 본격적인 국내외 시장 공략에 나설 생각이다.

　배 사장은 “국내 장비업체들이 장비개발시 외산 진공클러스터툴을 이용해야 하기 때문에 겪는 불편함이 이만저만이 아니다”며 “고객사양에 맞는 제품을 적기에 공급함으로써 국내 반도체 장비 산업의 발전에도 일익을 담당하겠다”고 덧붙였다.

<정진영기자 jychung@etnews.co.kr>