앤비젼은 저조도 환경에 최적화된 BSI(Back Side Illumination) CMOS TDI 모델 Linea HS 16k eNIR을 출시했다.
이 제품은 다양한 비파괴 검사에 활용된 세계 유일의 CCD TDI 카메라 HN-8K를 성공적으로 업그레이드해 고속, 고감도 NIR 비파괴 검사가 가능하다. 높은 감도를 특징으로 하는 BSI TDI 모델 중에서도 NIR 및 NUV 파장대에서의 감도를 크게 향상시켰다.
광량 부족으로 100㎑ 이하 속도에서 사용하고 있는 저속 애플리케이션의 특성에 맞춰 고속 TDI의 한계인 다크노이즈를 크게 개선했다. 웨이퍼 내부 크랙 검사나 패키지 이미징 및 검사에 유용하게 활용될 수 있다고 앤비젼은 밝혔다.
권상희 기자 shkwon@etnews.com
