이너센서가 0.005% 수준의 초저농도 수소를 감지하는 센서를 개발했다. 이너센서는 현대차 수소차에 센서를 공급하던 초소형정밀기계기술(MEMS) 업체다.
이너센서는 50ppm(0.005%) 수소를 감지할 수 있는 MEMS 센서를 개발했다고 7일 밝혔다. 현재 시제품까지 만들었고 관련 특허 등록도 마쳤다.
MEMS는 전자 회로 뿐 아니라 각종 기계 부품까지 통합된 칩으로, 다양한 전자기기에 쓰인다.
새로 개발한 센서는 업계 최초로 MEMS 소자 내부에 열대류 현상을 발생하는 구조로 설계했다. 지금까지는 열 전도 방식이 우세했는데, 수소 가스와 센서 감지부의 접촉 범위가 좁고 접촉 확률이 낮아 매우 미세한 농도의 수소를 감지하는데 한계가 있다.
이노센서는 수소 가스가 소자 내부에서 흐르듯 MEMS 구조를 만들어 센서 감지부의 반응 면적을 비약적으로 넓혔다고 설명했다. 감지부 위아래로 수소 가스가 이동하면서 접촉 확률도 크게 증가해 감지 성능을 향상시켰다. 회사는 이같은 열대류 현상을 기반으로 기존 센서 대비 적게는 10배 이상 높은 센서 감도를 구현했다고 부연했다.
회사는 기존 MEMS 센서를 공급했던 수소차와 더불어 전기차 배터리와 전기차 충전기 시장도 공략할 계획이다. 전기차 배터리는 화재가 발생하기 직전 수소 가스가 발생하는데, 이를 신속히 감지하면 초동 조치가 가능하다. 동시에 0.001% 수소 농도를 감지할 수 있는 초정밀 센서 연구개발(R&D)도 추진할 예정이다.
강문식 이너센서 대표는 “수소 산업 뿐 아니라 배터리 화재를 예방하기 위해 수소 감지 센서 시장이 지속적으로 확대되고 있다”며 “기존 센서들이 가진 저농도 수소 감지의 어려움을 극복한 독자 기술로 차별화에 나설 계획”이라고 밝혔다.
권동준 기자 djkwon@etnews.com
