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일본 JSR이 차세대 극자외선(EUV) 포토레지스트(PR) 스타트업인 미국 인프리아를 인수했다. JSR은 이번 인수로 EUV PR 포트폴리오를 확대하게 됐다. 반도체 초미세 공정 수요로 성장하는 EUV PR 시장에서 JSR 입지가 한층 강화될 것으로 전망된다.

17일 업계에 따르면, JSR은 인프리아 지분 79%를 인수한다고 발표했다. 지난 2017년 인프리아 지분 21%를 취득한 JSR은 이번 추가 지분 확보로 인프리아를 100% 인수했다. 인수 작업은 10월 말 완료될 예정이다. 인프리아 기업 가치는 5억1400만달러(약 6000억원)다.

인프리아는 반도체 노광 공정에서 사용되는 감광제(PR)를 개발하는 스타트업이다. 초미세 회로 패턴을 그릴 수 있는 EUV는 기존 노광 공정과는 다른 전용 PR을 사용한다. 기술 난도가 높아 일본 JSR, TOK, 신에츠 등이 사실상 독점 생산해왔다.

인프리아는 기존 유기물 기반 EUV PR보다 빛 흡수률이 뛰어난 무기물 기반 PR을 개발해 업계에서 주목받고 있다. 삼성전자와 SK하이닉스, TSMC 등 유수 기업들이 인프리아에 투자한 바 있다.

이번 인수로 EUV PR 시장에서 JSR 영향력은 한층 강화될 것으로 전망된다. JSR이 유기물 PR에서 무기물 PR까지 제품 영역을 넓힘으로써 차세대 EUV PR 시장까지 대응할 수 있게 됐다. JSR은 “인프리아와 함께 JSR은 업계 최첨단 노광 공정 분야 리더이자 파트너로서 입지가 강화됐다”면서 “인수 결정은 반도체 산업에 대한 JSR의 장기적 전략과 경영 방침과 일치한다”고 밝혔다.

권동준기자 djkwon@etnews.com