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표준연, 중소기업 기술로 반도체 산화막 두께 측정 난제 해결

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한국표준과학연구원(KRISS)이 국내 중소기업 기술로 개발한 첨단 측정장비를 통해 반도체 초박막 두께 측정이라는 기술 난제를 해결했다.

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23일 대전시 유성구 케이맥 연구소에서 KRISS 김경중 책임연구원(왼쪽)과 케이맥 연구진이 중에너지이온산란분광기(MEIS)로 초박막 두께 측정 결과를 살펴보고 있다.


대전=이동근기자 foto@etnews.com

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