'반도체 식각장비 국산화 첨병'…APTC "조만간 美 법인 설립“

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APTC의 폴리 식각 장비. <사진=APTC>

“가까운 시일 내에 미국 법인을 설립하고 해외 시장 진출에도 박차를 가하겠습니다”

국내에서 유일하게 반도체용 식각 장비를 제조하는 최우형 APTC 사장은 올해 가장 공을 들이고 있는 사업으로 미국 법인 설립을 꼽았다.

최 사장은 조만간 세계적 반도체 회사가 몰려 있는 미국에 진출해 영업과 우수 인재 영입에 박차를 가할 계획이라고 전했다.

그는 “200억원을 투자해 미국 캘리포니아 지역에 APTC 법인을 만들 것”이라며 “해외 반도체 회사 직원을 영입해서 영업망을 넓히고 선진 장비 제조 기술을 회사에 들여올 방침”이라고 말했다.

APTC는 2016년 94억원, 2017년 127억원에 이어 지난해에는 210억6900만원 영업이익을 기록, 최근 몇 년 간 실적이 꾸준히 성장했다. 특히 지난해에는 영업이익률 34.5%를 기록하며 코스닥 시장에 성공적으로 안착했다.

주요 고객사는 SK하이닉스다. 2017년 SK하이닉스의 동반 성장 프로그램 '기술혁신기업'으로 선정된 뒤 수십대 식각 장비를 양산하면서 기술을 공동 개발했다.

APTC는 반도체 불황인 올해에도 10대 이상 신규 장비를 SK하이닉스에 공급했다. 주력 제품으로 레오(LEO) NK Ⅰ과 Ⅱ, LEO NK Ⅰ-C 등이다.

최 사장은 “내년 반도체 시장도 어려울 것으로 보지만 이미 내년 물량 수주까지 끝난 상황이기 때문에 매출 감소는 우려하지 않는다”고 자신했다.

식각 장비는 반도체 공정에서 필수적이다. 식각(에칭)은 동그란 웨이퍼 위에 쌓인 막에서 불필요한 부분을 깎아내는 작업이다. 식각은 크게 세 가지 종류로 나뉜다. 폴리실리콘, 옥사이드, 메탈 식각 등이다. 이 중 APTC는 폴리실리콘 식각 장비를 만든다. 웨이퍼 위에 인위적으로 쌓은 폴리실리콘 막을 깎아내 데이터가 들어갔다가 나올 수 있는 '게이트' 모양으로 만드는 장비다.

식각 장비를 제조하는 글로벌 기업은 미국 램리서치와 어플라이드머티어리얼즈, 일본 도쿄일렉트론(TEL) 등이다.

특히 램리서치는 폴리실리콘 에칭 장비 외에도 거의 모든 식각 장비에서 두각을 나타낸다. 세계 식각 장비 시장의 70% 이상을 차지할 만큼 가격 경쟁력과 품질 면에서 앞서있다. 식각 장비 기술은 구현이 워낙 어려워 국내 기업이 양산에 성공한 사례를 찾기는 쉽지 않다.

최 사장은 자체 개발 기술로 식각 장비 국산화에 도전할 것이라는 포부를 내비쳤다. 조만간 제품 생산성을 높인 LEO NK WH를 출시하는 등 기술력을 차근차근 보강해 나갈 방침이다.

그는 “주력 제품인 폴리실리콘 식각 장비 뿐 아니라, 옥사이드 식각 장비, 증착 장비인 CVD(화학기상증착법)용 장비 개발도 준비하고 있다”고 전했다. 또 “주요 메모리 반도체 제조 기업과 글로벌 식각 장비 기업의 시가 총액이 맞먹는 것은 그만큼 식각 장비 시장의 성장 가능성이 크다는 뜻”이라며 “특허 기술을 확보하기 위해 총력을 기울일 것”이라고 덧붙였다.


강해령기자 kang@etnews.com


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