인하대학교는 최리노·양회창 교수 공동 연구팀이 플렉시블 디스플레이 핵심 기술인 용액기반 산화물 박막 트랜지스터 제조에 성공했다고 3일 밝혔다.
산화물 박막트랜지스터는 진공상태에서 제조해야 하기 때문에 제작비용이 많이 든다. 차세대 디스플레이 개발을 가로막는 장애요인이었다.
최리노(신소재공학과)·양회창(유기응용재료공학과) 교수 공동 연구팀은 진공 공정을 거치지 않고 산화인듐(In2O3) 용액을 활용한 용액 기반 공정으로 디스플레이 제조 공정을 바꾸는데 성공했다.
특히 용액 공정 시 리튬(Li)을 첨가해 250°C 이하 저온에서도 전자가 활발히 이동하도록 전자 이동도를 높였다. 이는 스포츠 등 빠른 화면 전환을 선명하게 보여주는 고성능 차세대 디스플레이에도 적용할 수 있는 기술이다.
이로써 플라스틱 계열 기판을 활용하는 차세대 투명 디스플레이나 플렉시블 디스플레이 구현에 한 발짝 더 다가설 수 있게 됐다. 더구나 용액 기반 공정은 산화물 박막트랜지스터 제조비용을 크게 낮출 수 있어 디스플레이 제품 가격 경쟁력도 높일 수 있을 것으로 기대된다.
연구팀이 개발한 내용을 담은 연구논문은 `리튬 유도 저온 상전이를 통한 용액공정 인듐 산화물 박막기반 고성능 박막트랜지스터`라는 제목으로 네이처 자매지인 사이언티픽 리포트 온라인 판 최신호(4월 29일)에 게재됐다.
최리노 교수는 “용액 공정으로 저가 산화물 박막 트랜지스터를 생산할 수 있는 가능성을 제시한 연구 결과”라며 “다양한 초고해상도 디스플레이 제조에 활용할 수 있을 것”이라고 말했다.
최 교수는 지난해 9월 리튬을 첨가한 고성능 산화물 박막 트랜지스터 저온공정 제작 기술을 레이저장비 기업인 코윈DST에 이전한 바 있다.
김순기기자 soonkkim@etnews.com
