이스라엘 반도체 위탁생산(파운드리) 업체 타워재즈(지사장 송영진)는 엑스선(X-ray) 전문 업체 제노레이와 손잡고 의료용 CMOS 이미지센서(CIS)를 양산한다고 18일 밝혔다. 65나노(㎚) 12인치 웨이퍼 공정이 적용된 일본 파나소닉 공장(팹)도 가동, 고화소 CIS용 파운드리를 시작한다.
이 제품은 해상도가 높아 수술용 엑스레이 기기(C-Arms)나 휴대용 엑스선·두경부(頭頸部)용 컴퓨터단층촬영기(CT)에 적합하다. 타워재즈의 0.18마이크로(㎛) 스티칭(Stitching) 공정에서 생산됐다. 통상 웨이퍼 한 장으로 여러 개의 칩을 생산하는 것과 달리 스티칭 공정은 웨이퍼 한 장에 같은 크기의 칩(Die) 하나를 만들어내는 기술이다.
이 CIS는 제노레이의 의료용 디텍터(Detector)에 탑재된다. CIS 디텍터는 실리콘 박막트랜지스터(TFT) 디텍터보다 영상 처리시 발생하는 잡음(노이즈)이 적다. 유출되는 방사능도 덜하다. 지금까지의 디텍터가 CT나 파노라마 기기 중 하나만 지원하는 반면 제노레이 CIS디텍터는 모두 적용 가능하다. 두 회사는 향후 의료용 CIS 외에도 다양한 제품을 내놓을 계획이다.
타워재즈는 일본 파나소닉과의 합작사를 통해 인수한 65나노 12인치 웨이퍼용 팹도 CIS를 주력으로 본격 가동하기로 했다. 1.12마이크로 픽셀(pixel)로 만들 수 있어 최대 1300만 화소 CIS까지 생산 가능하다.
지금껏 대부분의 CIS가 BSI(Back Side Illumination) 공정에서 생산된 반면 이 회사는 파나소닉의 핵심 기술인 SmartFSI(Front Side Illumination) 공정을 도입했다. 빛이 아닌 검출기에 의해 생성되는 전류(암전류)가 커도 화질에 미치는 영향을 줄일 수 있도록 했다. 후공정(패키지)도 단순화시켰다.
송영진 타워재즈코리아 대표는 “타워재즈는 1300만 화소급 CIS를 만드는 유일한 순수(Pure) 파운드리”라며 “앞으로도 국내 반도체 설계 전문 업체(팹리스)에 보다 나은 서비스를 제공하기 위해 노력할 것”이라고 말했다.
김주연기자 pillar@etnews.com
