한국세라믹기술원(원장 김민)은 테키스트(대표 김춘호)와 `초음파를 이용한 반도체 공정장비 내 배기관 막힘 방지장치 특허기술 이전계약`을 체결했다고 밝혔다.
이번에 이전되는 기술은 초음파를 이용해 반도체 증착 및 식각장비내 출력배관 부산물 고형화에 따른 막힘 현상을 최소화하고, 동시에 배관 내부상태를 모니터링할 수 있는 기술이다.
이영진 한국세라믹기술원 박사는 “이 기술이 적용될 경우, 기존 히팅코일을 이용한 배기관 막힘방지에 비해 전력소비량을 10% 이하 수준으로 낮출 수 있으며, 배관 교체 및 정비 주기를 2배 이상으로 연장시켜 생산성 및 관리비용을 현재보다 50% 이상 절감할 수 있다”고 말했다.
테키스트는 이번에 이전받는 기술을 적극 활용해 신제품 개발과해외시장 개척에 나설 계획이다. 한국세라믹기술원은 기술이전에 따른 착수금 8천6백만원과 향후 5년간 관련 매출액의 경상기술료를 받는다고 밝혔다.
장길수기자 ksjang@etnews.com
