반도체 패키징 전문업체인 하나마이크론의 자회사인 하나실리콘은 6일 국내 처음으로 직경 510㎜ 단결정 실리콘 잉곳 개발에 성공했다고 밝혔다. 이 회사는 개발에 이어 향후 양산을 위한 설비를 추가 도입할 계획이다.
하나실리콘은 지난 1월 480㎜ 단결정 실리콘 잉곳을 개발한데 이어 6개월 만에 국내 최대 크기의 실리콘 잉곳을 개발했다.
실리콘 잉곳이란 폴리실리콘을 고순도로 변환해 성장시킨 반도체용 웨이퍼 원재료를 뜻한다. 세계반도체협회의 국제반도체기술로드맵(ITRS)에 따르면 현재 주력인 300㎜(12인치) 웨이퍼가 2012년 이후부터 450㎜ 웨이퍼로 교체될 것으로 전망된다. 그러나 현재 450㎜반도체 라인을 구축 중인 곳은 전무해 450㎜ 웨이퍼 상용화 시기는 유동적이다.
하나실리콘 관계자는 “510㎜ 잉곳 개발로 450㎜ 반도체 웨이퍼 시장을 선점할 수 있는 기술 경쟁력을 확보하게 됐다”며 “오는 11월말 510㎜ 잉곳 양산을 위한 설비를 추가 도입해 내년부터 본격 가동할 계획”이라고 말했다. 이 관계자는 “양산에 돌입하게 되면 잉곳 자급률이 현재 30%에서 60%대로 높아지고 생산단가와 외부 구매 비용 축소 등으로 이어져 수익성이 개선될 것으로 기대된다”고 덧붙였다.
한편, 하나실리콘은 잉곳을 정밀가공해 반도체 건식 식각 장비의 필수 부품인 캐소드(Cathode)와 링(Ring)을 생산, 글로벌 장비 3위 업체인 일본 동경엘렉트론을 비롯해 국내외 반도체 소자 및 장비업체에 공급하고 있다.
서동규기자 dkseo@etnews.com
