케이씨텍, CMP용 슬러리 2곳 추가 공급

　반도체 장비 기업인 케이씨텍(대표 고석태·이순창)은 삼성전자·동부하이텍 등 반도체 기업 2곳에 반도체연마용(CMP) 세리아 슬러리를 공급하기 시작했다고 29일 밝혔다. CMP용 세리아 슬러리란 반도체 소자분리(STI:Shallow Trench Isolation) 공정에 적용돼 노광 공정에서의 균일한 포커싱을 확보하기 위해 웨이퍼 표면을 평탄화 시키는 소모성 재료이다.

이 회사는 이를 계기로 2007년 본격 양산에 들어간 지 2년여 만에 기존 거래선인 하이닉스반도체를 포함, 국내 대형 반도체 소자 기업 모두를 거래선으로 확보하는 성과를 거뒀다.

케이씨텍 관계자는 “지난달 4∼5톤 물량의 CMP슬러리 공급에 들어가는 등 대형 반도체 소자 기업 2곳을 새로운 고객으로 확보했다”며 “점차 신규 고객의 주문량이 점차 늘어날 것”이라고 말했다. 이 회사는 8월초 슬러리 설비 증설에 착수, 9월부터 연간 1200톤을 생산할 계획이다.

안수민기자 smahn@etnews.co.kr