반도체 소부장

국제엘렉, 퍼니스형 반도체 설비 특허

국제엘렉트릭코리아는 퍼니스형 반도체 설비에 대한 특허를 취득했다고 9일 공시했다.

해당기술은 웨이퍼 보우트 주변을 둘러싸면서 공정가스를 360도 전 방향에서 분사, 공정튜브 내부에 균일한 가스 분포를 제공할 수 있다.

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