제일모직, 美 캐보트마이크로에 승소

　 제일모직이 반도체 연마용장치(CMP) ‘슬러리’ 시장 선두업체인 미국 ‘캐보트 마이크로일렉트로닉스’와 진행중인 특허 소송에서 첫 승소했다. 항소 등을 통한 법정 공방이 이어지더라도 일단 기선을 잡게 됐다.

7일 업계에 따르면 제일모직(대표 제진훈)은 지난해 8월 미국 캐보트를 상대로 특허심판원에 제기한 특허무효소송(1심) 판결에서 최근 특허무효 판결을 얻어냈다. 특허심판원은 캐보트의 특허(제745447호)가 등록시 필수요건인 ‘신규성과 진보성’이 미흡하다고 판단했다. 소송 대리인측인 이재웅 에이아이피법률특허사무소 변리사는 “캐보트의 특허 기술이 이전 기술에 비해 새로울 게 없으며, 기존 기술을 전용했다는 게 특허심판원의 판시 결과”라고 말했다.

캐보트는 지난해 7월 제일모직을 상대로 서울중앙지법에 특허 침해소송을 냈다. 이에 제일모직은 캐보트의 특허가 특허요건을 갖지 못했다며 특허심판원에 무효소송을 제기했다. 이 판결은 진행중인 두 소송 가운데 특허심판원의 첫 판결이다.

1심 판결 결과에도 불구, 캐보트는 곧바로 특허법원에 항소, 법정 공방을 이어갈 것으로 보인다. 항소를 제기하지 않을 경우 서울중앙지법에 계류 중인 특허 침해소송에도 영향을 받을 수 있기 때문이다.

텅스텐층 반도체 CMP 슬러리는 반도체 회로를 구성하기 위해 웨이퍼를 평탄화하는 재료다. 미세화가 진전할수록 중요한 핵심 소재 기술이다. 제일모직은 지난 2003년부터 계열사인 삼성전자에 CMP용 슬러리를 공급해왔다.

서한기자 hseo@