아이에스시테크놀러지(대표 정영배)는 낸드플래시 300㎜(12인치) 웨이퍼를 단 한번(원터치)에 검사할 수 있는 프로브카드 ‘VPC-2’를 개발, 최근 하이닉스반도체에 납품했다고 2일 밝혔다.
VPC-2은 기존의 탑침(Needle) 방식과 멤스(MEMS) 방식의 중간형태인 1.5세대 프로브카드로, 탑침 방식 프로브카드의 불안정한 성능, 사용 중의 잦은 수리 등의 문제점을 해결했다. 특히 원터치 검사 방식으로 개발돼, 여러 번 나누어 검사하는 기존 방식에 비해 생산성을 크게 높였다.
정영배 아이에스시테크놀러지 사장은 “300㎜웨이퍼 원터치 프로브카드는 아직 초기 시장을 형성하고 있어 VPC-2는 국내 프로브카드 업계 판도에 상당한 영향을 줄 것으로 보고 있다”며 “하이닉스로부터 이미 추가로 9대를 주문 받은 상태로, 제품 라인업을 강화해 올해는 매출 300억원, 2010년에는 1000억원을 달성할 것”이라고 밝혔다.
프로브 카드는 반도체 전공정 후단에서 검사장비에 탑재돼 웨이퍼의 검사를 실행하는 소모성 부품으로, 2008년 1조원대 시장을 형성할 것으로 전망된다. 이 시장은 현재 미국 폼펙터가 50% 가량 시장을 점유하고 있고, 국내업체로는 파이컴과 티에스이 등이 시장을 주도하고 있다.
심규호기자@전자신문, khsim@
