포항가속기연구소, 7일 LIGA공정 실습 교육

　포항가속기연구소(소장 고인수)는 한국방사광이용자협회(회장 이순보) 주관으로 7일 X선 나노/마이크로머시닝 빔라인(9C)에서 ‘LIGA공정 실습교육’을 실시한다.

　LIGA는 방사광가속기에서 발생되는 강한 세기의 X선을 이용해 마이크로 구조물 및 정밀소자, 나노구조물 등을 가공하는 차세대 첨단기술을 말한다.

　이번 행사는 △가속기 소개 및 이용방법 △LIGA 기술 개요 △반도체 공정 응용 △X선 공정에 대한 이론 △응용장비 개요 및 이용법 △마이크로 구조물 설계 및 사진 시각 공정 △X선 마스크 제작 △기판 제작 등에 대해 교육한다.

대구=정재훈기자@전자신문, jhoon@