LCD·반도체용 장비 대형화에 맞춰 대용량 진공펌프 개발 활기

대면적 LCD 및 반도체 공정의 확대와 함께 공정 장비용 대용량 진공펌프의 국내 개발 및 생산이 활기를 띠고 있다.

　진공펌프는 반도체·LCD 생산을 위해 공정 장비의 챔버 내에 진공 상태를 만들어주는 장비로 대형 제품의 경우 주로 수입에 의존해 왔으나 최근 장비가 대형화되면서 물류·이송 등의 문제로 현지 대응 필요성이 커지고 있다.

　7세대 이상 대형 LCD 및 300㎜ 웨이퍼 라인 확대로 대용량 진공펌프의 수요는 계속 커질 전망이라 국내 업체들의 현지 개발 및 생산 노력은 계속될 전망이다. 케이케이테크 백신기 사장은 “국내 LCD 산업의 성장으로 대용량 진공펌프의 국내 생산이 늘고 있다”며 “해외 수입에 의존하던 고성능 펌프의 국내 생산이 가속화될 것”이라고 말했다.

　성원에드워드(대표 김중조)는 LCD와 반도체 전공정 분야를 겨냥, 배기 시간을 줄인 리드락 챔버용 진공펌프를 개발했다. 시간당 400㎥의 배기 속도를 가지며 펌프 사용량을 줄일 수 있어 공간을 효율적으로 사용할 수 있다. 또 부스터펌프와 건식 진공펌프를 필요에 따라 가변적으로 설치할 수 있는 모듈 방식을 채택했다. 이 회사는 국내 반도체·LCD 산업의 성장에 따라 모회사인 영국 BOC에드워드의 생산 라인을 국내로 이관, 올해 양산에 들어갔다.

　케이씨텍과 일본 가시야마의 합작사인 케이케이테크(대표 백신기)는 11월까지 경기도 안성에 LCD 장비용 건식 진공펌프 공장을 건설, 내년 1월 양산에 들어간다. 이에 따라 국내에 수입되던 일본 가시야마의 LCD용 대용량 진공펌프를 국내에서 생산할 수 있게 됐다. 이 회사는 제품을 일본에 역수출하는 한편 반도체용 펌프 시장에도 진출할 계획이다.

　엘오티베큠(대표 오흥식)은 기존 제품과 크기는 동일하나 펌핑 용량은 2배의 배기 속도를 갖는 LCD용 건식 진공펌프를 개발했다. 같은 시간에 더 넓은 챔버의 진공 작업이 가능, 반도체 장비에 비해 챔버 크기가 큰 LCD 공정에 적합하다. 이 회사는 향후 대구경 웨이퍼 및 나노 소자를 중심으로 반도체 공정에도 이 제품을 적용할 계획이다.

　한편 세계 반도체·LCD용 진공펌프 시장 규모는 약 1조원, 국내 시장 규모는 2000억원으로 추산된다.

한세희기자@전자신문, hahn@