한국DNS, 300mm 장비 라인업 구축

　한국디엔에스(대표 박창현 http://www.kdns.co.kr)는 지난 98년 포토공정용 트랙장비 ‘K-SPIN8’을 국산화한 것을 시작으로 300㎜용 세정·식각·트랙장비 등을 잇달아 국산화해 차세대 장비시장을 겨냥한 라인업을 구축했다고 8일 밝혔다.

　이 회사가 그동안 개발한 300㎜ 장비는 98년 말 개발이 마무리된 웨트스테이션 ‘K-WET300’을 비롯해 지난해 국산화한 식각장비 스핀에처 ‘SPE300S’, 올해 개발한 스핀스크러버 ‘K-SCRUBBER12’, 최근 개발한 스피너 ‘K-SPIN12’ 등 전공정용 4대 핵심장비다.

　이 중 최근 개발한 ‘K-SPIN12’가 이달 초 삼성전자에 공급됨에 따라 모든 장비에 대한 성능검증 및 상용화 작업이 완료됐다.

　한국디엔에스측은 스피너 35%, 웨트스테이션 40%, 스핀스크러버 90% 등 그동안 자사가 개발한 장비가 국내에서 높은 시장점유율을 기록하고 있는데다 최근 잇따라 개발한 차새대 장비가 소자업체 대상 성능평가에서 우수한 평가를 받아 내년 이후 본격화될 300㎜ 장비시장에서 유리한 고지를 점할 수 있을 것으로 보고 있다.

　이 회사는 지금까지 개발해 상용화한 300㎜ 장비 외에도 신형 에칭·세정장비 등의 개발이 마무리 단계에 있어 차세대 장비시장에서의 영향력을 더욱 확대할 수 있다는 전망이다.

　한국디엔에스 박창현 사장은 “국내 반도체 장비시장은 세계시장의 20%를 차지할 만큼 큰 시장이지만 그동안 부대설비나 후공정 분야에 집중돼 있어 전공정 분야는 외국업체의 독무대가 되어 왔다”며 “하지만 이번 300㎜ 장비의 라인업 구축으로 국내외 소자업체들이 본격적인 신규투자에 들어가는 내년부터는 매출증대는 물론 외화절감 효과를 기대할 수 있게 됐다”고 말했다.　

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>