<다국적 반도체 업체>주요업체 소개(4)

★앤트림디자인시스템스

앤트림디자인시스템스(http://www.antrim.com)는 지난 97년 설립된 회사로 실리콘밸리에 본사를 두고 있다. 이 회사는 아날로그와 디지털 회로가 혼성된 시스템 온 칩(SoC) 설계에 필요한 혼성신호 통합솔루션을 제공한다.

앤트림디자인시스템스의 혼성신호통합솔루션은 혼성신호디자인 EDA소프트웨어, 혼성신호 IP, 혼성신호IP개발/설계서비스 등으로 구성돼 있다.

앤트림디자인시스템스의 설립자들은 현재 이 혼성신호통합솔루션 분야에서 가장 많은 사용자를 확보한 H-스파이스 시뮬레이터의 개발자로 회사 출범시부터 기술력을 인정받았다.

스위스에 소재한 이 회사 IP디자인서비스센터에서는 통신·가전·멀티미디어시스템을 겨냥해 SoC 디자인용 혼성신호IP 설계를 담당하고 있다. 이 회사는 현재 일본 미쓰비시, 마쓰시타 등을 클라이언트로 확보하고 있다.

또 앤트림디자인시스템스의 혼성신호 EDA소프트웨어는 혼성신호 시뮬레이터(앤트림-AMS)와 혼성신호 통합툴(앤트림-MSS), 앤트림-ACT 등으로 구성된다. 이 소프트웨어들은 TI·브로드컴·삼성·HP·샤프 등 전세계 반도체기업의 제품설계에 적용돼 호평을 받고 있다.

앤트림디자인시스템스는 이달부터 하나의 정보 베이스툴 환경에서 혼성신호 디자인 기능을 모두 충족시키는 차세대 혼성신호 디자인 툴인 「앤트림-ACV」를 발표하고 판매에 들어갔다.

「앤트림-ACV」는 스파이스 시뮬레이터 같은 여타 경쟁제품의 단점을 대폭 보완해 좋은 시장반응을 얻고 있다.

현재 앤트림디자인시스템스는 국내에 지사를 설립해 기존 고객과 예상 구매고객들에게 기술지원 및 영업활동을 활발히 추진하고 있다.

<배일한기자 bailh@etnews.co.kr>

★니콘프레시전코리아

일본 니콘은 1917년 창업 이후 세계 광학기술 산업을 주도하는 세계적인 업체다. 이 회사는 반도체 제조에 필요한 첨단 리소그래피(Lithography) 공정장비를 개발, 공급해오고 있다.

니콘은 지난해 모든 반도체 장비부문 업체들을 통틀어 매출액 기준으로 세계 3위(14억3000만달러)를 차지하는 등 세계적인 반도체 장비업체로 자리를 확고히 굳혔다. 니콘은 전세계 스테퍼 & 스캐너 시장에서 지난해 35.8%의 시장점유율을 차지한 데 이어, 올해는 420대를 판매해 점유율을 40% 이상으로 끌어올릴 계획이다.

지난 88년 사명을 바꾼 니콘은 리소그래피 공정용 스테퍼를 중심으로 한 반도체 관련 장비·현미경·측정기기 등을 주력 생산한다. 지난해 10월에 스테퍼 관련 정밀기기 부문을 별도 사업부(대표 시마무라 테루오)로 독립시켰다.

니콘이 주력 생산하는 스테퍼는 반도체 제조과정에서 가장 핵심공정으로 꼽히는 리소그래피 공정용 장비. 대당 가격도 최고 100억원에 육박할만큼 가장 고가인 첨단장비다.

김경섭 니콘프리시전코리아 상무는 『특히 니콘은 동종 장비업체들과 달리 리소그래피 공정장비 핵심부품인 고성능 렌즈를 자체개발, 생산하는 체제를 확보했다』고 말했다.

니콘은 지난 90년 한국의 스테퍼 수요확대에 발맞춰 한국 현지법인인 니콘프리시전코리아(대표 아즈마 토오루)를 설립, 부품공급과 기술지원을 제공해오면서 국내 반도체산업 발전에 한몫을 해왔다. 97년에는 경기 신갈에 클린룸과 장비 실습실 등을 갖춘 대규모 사옥을 마련하고 고객 교육과 함께 부품의 리사이클·국산화 등을 진행해오고 있다. 아울러 한국법인과 일본 본사의 엔지니어 교류를 통한 기술 이전, 협력을 지속적으로 실시하고 있다.

니콘은 현재 노광 광원으로 사용하는 불화크립톤(KrF), 차세대 불화아르곤(ArF)에서 200/300㎜ 공정을 모두 지원하는 솔루션을 개발해 선보이는 등 차세대 노광장치 사업도 발빠르게 준비중이다.

김경섭 상무는 『차세대 불화아르곤 노광장치는 이미 반도체 공정 연구용으로 지난 99년 1월 개발해 첫 제품을 출하했으며 EB노광장치는 2002년 후반에 연구개발용 장치를 완성해 내놓고 F2레이저 노광장치는 2003년 이후에 개발을 마칠 계획』이라고 설명했다.

니콘의 스테퍼는 고해상도와 넓은 노광면적을 제공하면서 얼라이먼트 시간단축으로 높은 스루풋(throughput)을 실현하는 것으로 평가받고 있다.

최신 스테퍼인 「NSR-S204B」의 경우, 렌즈 스캐닝시스템과 불화크립톤 엑시머 레이저를 채택해 256M D램 칩의 양산 공정에서 25㎟ 이상의 노광면적에 복수의 칩을 한번에 노광시킬 수 있으며 차세대 300㎜ 웨이퍼 양산용으로 맞게 설계됐다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>

★한국램리서치

지난 80년 설립된 미국의 반도체 제조 전공정 장비업체인 램리서치사는 지난 20년 동안 식각(에칭)공정장비 분야에서 한 우물을 파온 이 분야 세계적인 업체로 손꼽힌다.

램리서치는 인텔·IBM·삼성전자·현대전자·TSMC·UMC 등 전세계 40여 유수 반도체 소자업체들의 양산라인에 에처를 공급해왔다. 이 회사는 올해 전세계적으로 20억달러의 매출실적을 목표로 하고 있으며 이 가운데 대부분이 식각장비로 세계시장의 30%를 점유할 것으로 내다보고 있다.

램리서치가 89년 100% 투자해 설립한 한국램리서치(대표 김동성 http://www.lamrc.com)도 국내 반도체 제조용 식각·화학기계적연마(CMP) 공정장비 시장에서 두각을 보이면서 국내 반도체산업 발전의 견인차로 구실했다.

김동성 한국램리서치 사장은 『램리서치는 차별화되고 앞선 기술을 바탕으로 반도체 장비중 핵심이 되는 식각장비를 반도체 제조업체에 적기에 공급해 세계 반도체산업의 획기적인 발전에 핵심적인 역할을 해왔다』고 말했다.

램리서치는 자사 에처의 장점으로 「반도체 제조공정의 유연성, 생산성 향상, 편리한 설계」를 내세웠다.

식각공정 장비인 「얼라이언스」의 경우 매엽(싱글 웨이퍼)방식의 멀티체임버로 설계돼 동일한 공정을 여러 체임버에서 동시에 진행할 수 있고 여러가지 공정을 여러 체임버에서 연속적으로 진행할 수도 있다. 얼라이언스는 다양한 공정의 적용, 우수한 공정능력을 갖춰 제품 성능향상에 기여함과 동시에 차세대 소자에 대한 개발·양산에 적합한 획기적인 장치로 평가받는다.

특히 램리서치는 지난해 전세계 CMP 세정(클리닝) 장비를 주도하던 온트랙시스템사를 인수해 이 분야에도 본격 뛰어들었다. 자체기술인 선형 평탄화기술을 바탕으로 한 「Teres」를 개발했다. 더블 사이디드 스크러빙 방식을 적용한 램리서치의 CMP 세정장비는 웨이퍼 표면에 남은 슬러리(slurry)와 외부 불순물, 금속성·화학성 오염물 등을 제거하는 데 우수한 특성을 갖추고 있다.

한국램리서치는 한국의 반도체산업 초창기부터 소자업체들과 공동 기술개발을 추진해왔으며 특히 식각장비 분야에서 차세대 0.1㎛ 공정기술 개발과 300㎜ 웨이퍼 공정을 모두 다룰 수 있는 플랫폼 개발을 적극 지원하고 있다.

김동성 사장은 『한국의 반도체 업체들이 세계시장에서 선두주자의 위치를 강화할 수 있도록 국내 반도체 엔지니어들에 대한 훈련을 실시하는 등 앞으로도 국내 고객들의 요구에 신속하게 대응하는 전략을 펼치겠다』고 말했다.

한국램리서치는 올해 국내 에처 시장의 30%를 점유하는 등 1억8000만달러의 매출을 예상하고 있다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>