반도체 제조용 엑시머레이저 국산화

그동안 전량 수입에 의존하던 반도체 제조용 엑시머레이저를 신생 벤처기업이 국산화했다.

지난해 8월 설립된 레이저앤피직스(대표 한기관)는 총 2억5000만원의 연구비를 투입해 크립톤과 불소가스를 사용하는 엑시머레이저를 개발, 최근 현대전자에 시제품을 납품했다고 2일 밝혔다.

엑시머레이저에 사용하는 가스는 부식성이 강한 불소이고 발생하는 빛도 자외선이기 때문에 산업용으로 사용할 수 있을 만큼 안정적으로 작동하는 레이저를 만든다는 것은 매우 어려운 일로, 지금까지 국내에서는 대학이나 연구소에서 실험용으로 만들어본 것이 고작이었는데 이번에 상용제품을 개발하는 데 성공한 것이다.

한기관 대표는 『현대전자 청주공장 장비기술팀이 자사가 개발한 엑시머레이저를 노광공정에 장착한 후 테스트 결과를 알려줘 레이저의 성능개선을 도왔다』며 『향후 기술적으로 미진한 부분을 향상시켜 나갈 것』이라고 밝혔다.

<김원배기자 adolfkim@etnews.co.kr>