한택, DUV용 스텝&스캔시스템 공급

　ASML의 국내 대리점인 한택(대표 한종훈)은 0.15미크론 수준의 초미세 반도체 회로선폭에 대응하는 DUV(Deep Ultra Violet)용 스텝 & 스캔(Step & Scan)시스템 「PAS 5500/700B」를 내년 상반기에 공급한다고 13일 밝혔다.

　네덜란드 스테퍼업체인 ASML이 현재 개발중인 이 시스템은 이미지 전체를 한꺼번에 노광시키는 기존 스테퍼와 달리 DUV 광원을 레티클과 함께 빠른 속도로 움직이며 웨이퍼에 투사해 기존보다 훨씬 넓은 이미지 필드를 형성할 수 있는 새로운 스텝 & 스캔 방식 제품이다.

　또한 이 장비는 불화크립톤(KrF) 엑시머 레이저 소스 및 특수 광학 기술을 채택, 스캐닝 속도와 웨이퍼 위에 투사되는 필드 사이즈를 최대화시켰으며 시간당 최대 1백4장의 웨이퍼를 처리할 수 있다.

<주상돈 기자>