[특집-SEMICON WEST 98] 주요업체 출품작.. 웨이퍼 세정 장비

일드업 "웨이퍼 세정 장비"

미국의 신생 반도체 장비업체인 일드업社는 자사 특허인 정전기 방식 세정기술을 이용한 반도체 세정 장비인 「오메가 2000」과 「오메가 4000」을 출품했다.

이들 제품은 2백㎜ 및 3백㎜ 웨이퍼와 플랫 패널 디스플레이(FPD) 등 대형기판 가공용으로 설계돼 있으며 0.25미크론 이하 단위의 먼지까지 제거할 수 있는 고성능 장비들이다.

또한 오메가 시리즈는 웨이퍼 세척시 가동 부품이나 기계적인 동작을 전혀 사용하지 않음으로써 웨이퍼 및 기판의 손상을 최소화했다.

이 중 「오메가 2000」은 자기정화기능이 부착된 2백 및 3백㎜ 웨이퍼용 가공실을 별도로 갖고 있으며 여러 형태의 반자동 또는 전자동 혼합식 작업대와 인라인화시킬 수 있도록 설계된 것이 특징이다.

또한 「오메가4000」은 실시간 윈도 환경에서 작동되는 독립형 세정 및 건조장비로 화학적 기계적 연마(CMP) 관련 각종 세정 공정에도 적용가능하다.

일드업사는 최근 미국 반도체 장비 업체들 가운데 가장 빠른 성장세를 보이고 있는 기업 중 하나이며 올해 초 국내 장비 공급업체인 서진교역을 대리점으로 선정하는 등 본격적인 한국 시장 진출도 추진중이다.