케이씨텍, 반도체 제조용 진공펌프 대용량형 선봬

반도체 장비업체인 케이씨텍(대표 고석태)이 반도체 및 LCD 제조 라인용 대용량 진공 펌프 「SD120H」를 출시했다.

이번에 선보인 제품은 반도체 제조 라인에서 진공이 요구되는 영역을 빠르게 진공 상태로 만들어주는 대용량 드라이 펌프 제품으로 기존 장비보다 2배 이상 빠른 배기 속도를 구현한다.

또한 고기능 컨트롤러를 탑재, 전류, 냉각수 상태, 배압, 모터 온도 등 각종 운전 환경을 자동으로 감시함으로써 작업 안정성을 크게 높였고 기존 제품보다 에너지 소비를 50% 이상 낮췄다.

<주상돈 기자>