화합물 반도체소자 안전제조기술 개발

화합물 반도체소자를 안전하게 제조하는 기술을 일본 도가이대학과 영국 멘체스터공과대학 연구팀이 공동 개발했다.

「日本經濟新聞」 최근 보도에 따르면 양 대학 연구팀이 개발한 기술은 화합물 반도체소자 제조에 필요한 인(P)의 공급 원료로 유독가스를 사용하지 않는다는 점이 가장 큰 특징으로, 화합물 반도체 소자는 광통신 및 위성방송 분야 산업에서 널리 이용되고 있다.

새 기술은 갈륨과 인으로 구성된 인체에 무해한 고체를 원료로 이용하고 있으며 원료를 가열해 2가지 성분을 분해한 뒤 인 분자만을 검출해 낸다음 이 인과 다른 종류의 분자를 혼합해 화합물 반도체소자를 제조하는 방식을 취하고 있다.

연구팀은 이 소자로 고전자 移動度 트랜지스터(HEMT)를 시험 제작해 실용적인 수준의 전기특성을 확인했다. HEMT는 위성방송 수신용 증폭기의 핵심 부품이다. 도가이대학 연구팀 등은 앞으로 광통신용 레이저 등도 시험 제작해, 새 기술의 실용 범위를 더욱 확대해 나갈 계획이다.

<심규호 기자>