페리클 국산화 가속화

포토 마스크의 오염방지 보호막으로 사용되는 페리클(Pellicle) 의 국산화가 가속화되고 있다.

화인반도체 (대표 장명식)는 지난 89년 국내처음으로 페리클 국산화에 성공, 삼성전자를 중심으로 공급해오다 최근 들어서는 금성일렉트론.현대전자는 물론 포토마스크 전문 생산업체인 한국듀폰에까지 확대, 국산점유율을 크게 높이고 있다.

이회사의 관련매출도 지난 91년에 1백50만달러에서 92년에는 2백50만달러로 67%가 늘어난데 이어 지난해에는 다시 60%가 증가한 4백만달러어치를 공급 , 국내시장 점유율을 80%로 끌어 올렸다.

이회사는그동안 g-라인, i-라인용 제품에 이어 64MD램 이상 고집적제품에사용되는 엑시머 레이저 스테퍼용 DUV(Deep Ultra Violet)페리클등을 국산화해왔으며 이를 통해 페리클의 국산화및 국내 반도체의 기술적우위에 기여한 공로를 인정받아 지난 23일 한국종합기술금융등이 주최한 "제9회 벤처기업상시상식 에서 대상을 받은 바 있다.

화인측은포토마스크 관련 세계적인 생산업체이자 페리클까지 생산, 공급해 온 듀폰의 자회사인 한국듀폰이 자사제품을 사용키로 한데다 아남반도체기술 등의 가세로 시장이 확대됨에 따라 지속적인 고성장을 기대하고 있다.