세메스, 파운드리용 고온 매엽인산 세정장비 개발

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세메스 '블루아이스 프라임'

세메스(SEMES)는 반도체 위탁생산(파운드리)용 고온 매엽인산 세정장비 '블루아이스 프라임'을 개발했다고 22일 밝혔다.

배치타입 인산 약액보다 고온의 인산을 반도체 웨이퍼에 토출해 패턴면을 식각 박리하는 장비다. 식각균일도 및 불순물 제거가 핵심 기술이라고 회사 측은 소개했다.

세메스는 자체 개발한 척(Chuck)을 설비 내 장착해 웨이퍼를 고온으로 달궈 웨이퍼 중앙과 가장자리의 온도 균일도를 높이는 한편, 기존 배치타입 습식세정 방식의 한계로 지적됐던 공정 결함 발생을 90% 이상 감소시켰다고 설명했다.

특히 히터 성능과 척 부품의 설계 최적화를 통해 메모리용 기존 설비 대비 식각균일도를 40% 이상 향상시켰으며, 약품 사용량을 줄이기 위해 리사이클링 시스템의 부피를 25% 줄었다고 덧붙였다.

김경현 세메스 부사장은 “이번 장비 개발로 파운드리 선단 공정의 핵심 인자인 산포와 불량률을 획기적으로 개선해 수요업체의 전력·성능·크기·비용·시간(PPACT) 확보에 기여할 것으로 예상한다”고 말했다.


박진형 기자 jin@etnews.com

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