저스템은 국내 반도체 장비사인 S사에 2세대 습도제어 장치 JFS 공급을 추진 중이라고 13일 밝혔다.
저스템은 S사와 JFS 적용 테스트를 진행하고 있으며 평가 결과가 상반기 중에 나올 예정이라고 설명했다. 테스트를 통과해 공급에 성공할 경우 하반기 이후 납품이 이뤄질 것으로 예상된다.
JFS는 웨이퍼 운송 용기(FOUP) 내부 습도를 1% 이하로 제어해 반도체 수율 개선에 도움을 주는 장비다. 글로벌 종합반도체기업(IDM)인 M사로부터 두 차례 수주에 성공했다.
저스템 관계자는 “습도 제어를 통한 수율 향상으로 제품 완성도를 높이고 비용을 절감할 수 있는 만큼 JFS 공급 확대를 지속 추진할 것”이라고 말했다.
이호길 기자 eagles@etnews.com
