대만 강진으로 피해를 입은 TSMC가 생산 정상화에 속도를 내고 있다.
4일 대만 중앙통신사 등에 따르면 TSMC는 지난 밤 지진 발생 10시간 만에 웨이퍼 공장 장비 복구율을 70~80%까지 끌어올렸다고 발표했다.
TSMC는 지역별로 신주·룽탄·주난에서 최대 진도 5,타이중과 타이난에서 최대 진도 4를 기록했다고 전했다.
TSMC는 성명을 통해 “지진으로 생산라인 일부 장비가 손상됐지만, 극자외선(EUV) 노광장비는 피해를 입지 않았다”며 “완전한 복구를 위한 자원을 총동원하고 있고, 우리는 고객과도 긴밀히 소통하고 있다”고 밝혔다.
EUV 장비는 10나노미터(㎚) 이하 초미세공정을 위해 필요한 장비로 선단공정 D램과 인공지능(AI) 반도체 생산 등에 사용된다. 장비 1대당 가격은 3000억원으로 반도체 제조장비 중 가장 고가다.
이번 지진으로 신주과학단지, 타이난, 타이중 등에 있는 TSMC 생산시설이 가동을 중단했다. TSMC는 3㎚ 첨단공정 시설 가동이 일시 중단했고, EUV 노광장비도 8~15시간 가동이 멈췄었다고 설명했다.
TSMC 피해는 전공정 웨이퍼 공장뿐 아니라 후공정 패키징 공장에서도 발생했다.
대만 자유신보(LTN)는 “'칩 온 웨이퍼 온 서브스트레이트(CoWoS)' 패키징 관련 룽탄 공장이 피해 수리를 위해 생산을 중단했다고 알려졌다”며 “단기적으로 CoWoS 생산능력 부족으로 이어질 수 있다”고 전했다.
TSMC를 비롯한 대만 업체들은 구체적 피해 규모를 파악하고 대응 중이다. 웨이퍼 팹은 가동을 중단한 경우, 웨이퍼에 물리적 피해가 없더라도 공정을 멈춘 웨이퍼는 폐기해야 해 피해가 상당하다. TSMC, UMC 등은 지진 발생 당시 일부 공장에서 직원 긴급 대피 조치를 내렸다.
대만 연합신문보(UDN)는 “시장에서는 TSMC, 뱅가드국제반도체(VIS), UMC, PSMC, 난야, 윈본드, 마이크로닉스 등 대만 7대 웨이퍼 공장의 강진 피해를 입은 웨이퍼 가치가 100억(약 1조8569억원) 위안 이상에 달할 것으로 추산한다”고 보도했다.
피해 규모가 크지 않을 것이라는 분석도 있다. 앞서 일부 대만 언론들은 전날 “TSMC 2분기 피해액은 6000만 달러(약 807억3000만원)로 실적에 큰 영향을 주지 않을 것”이라고 예상했다.
박진형 기자 jin@etnews.com
