삼성전자가 반도체 제조에 사용되는 고순도 반도체 소모부품을 협력사와 자체 개발한다. 해외 구매 의존도를 낮출 것으로 전망된다. 삼성전자는 국내 복수의 협력사와 실리콘계 반도체 소모품을 개발하고 있는 것으로 파악됐다. 반도체 공정에서 회로의 불필요한 부분을 제거하는 식각 공정에 쓰이는 핵심 소모품이다. 식각 공정에는 실리콘계 부품과 실리콘카바이드계 제품 두 가지가 쓰인다. 실리콘 제품은 D램, 낸드 플래시 등 메모리 반도체 제조에 필요하다.
삼성전자는 국내 협력사와 메모리용 실리콘 소모품을 개발한다. 메모리 웨이퍼를 깎을 때 플라스마를 고르게 분사하는 전극, 전극을 고정하는 아우터, 플라스마로 웨이퍼를 정교하게 깎아 낼 때 사용하는 포커스링 등이다.
삼성전자가 실리콘 전극, 아우터, 포커스링 개발에 나선 것은 메모리 반도체 수요에 대응하기 위한 것이다. 세계반도체시장통계기구(WSTS)는 올해 메모리 반도체 시장 규모를 1827억달러로 예상했다. 지난해 1538억달러에서 238억달러 늘어날 전망이다.
삼성전자는 글로벌 장비 업체에 식각 장비를 공급받아 왔으며, 식각 소모품도 대부분 사용해 왔다. 반도체 수요 증가, 물량 증가에 따라 국내 공급처를 다변화한 것으로 풀이된다. 국내 전극, 아우터, 포커스링은 해외 제품 대비 가격 경쟁력을 갖춘 것으로 알려졌다.
삼성전자는 해외 장비 업체에 국내 제품보다 비싼 가격으로 제품을 구매하는 것으로 파악된다. 삼성전자 소모품 가운데 국산 공급 비중은 미미한 것으로 알려졌다.
김지웅기자 jw0316@etnews.com
