국무총리표창 영예를 안은 박영순 티씨케이 대표이사는 반도체 식각 공정에서 쓰이는 실리콘카바이드(SiC)링 부품 정밀도를 대폭 끌어올리는 데 기여했다. 챔버 내에서 웨이퍼를 고정하는 고순도 재질의 소모품인 SiC 링을 고주파 플라즈마 환경에서도 내구성을 유지할 수 있도록 설계하는 데 큰 공을 세웠다.
이 기술은 박 사장이 6년여에 걸쳐 100% 자체 개발한 기술로, 경쟁사와의 격차를 확대해 수출 증대와 고용 창출에 기여했다. 이 기술을 기반으로 티씨케이는 3년 내 2000억원 수준으로 성장할 것으로 예상된다.
강해령기자 kang@etnews.com
