분리·정제·반응 공정 기술 전문기업 케미스카이(대표 이춘호)는 세미콘코리아에서 독일 후버(HUBER) 반도체 공정용 온도조절장치 '유니스탯(Unistat)' 시리즈를 주력 제품으로 선보인다.
케미스카이는 1989년에 설립된 분리·증류·반응 등 화학 관련 공정에 특화된 산업공정장비 전문기업이다. 유럽, 미국, 일본 등에서 제작되는 최신 고성능 이화학기기를 전문으로 수입해 국내 산업 전반에 소개하고 기술 지원을 제공하고 있다.
미국 HiP(High Pressure Equipment), 일본 아사히글래스플랜트(AG!), 독일 후버, VTA, 하이텍장(Hitec-Zang), 영국 이지닥(Ezi-Dock), 베이퍼텍(Vaportec) 등과 독점대리점 계약을 맺고 박막증류장치, 유리반응기, 연속식반응기, 온도조절장치, 고압시스템, 파우더관리시스템 등을 국내에 소개하고 있다.
후버는 실험용 서큘레이터, 생산용 온도조절장치, 대형 산업용 칠러를 공급하는 온도 제어 전문 기업이다. 인텔, 지멘스, 일렉트로룩스, AMD 등 다수 전기·전자·반도체 관련 기업에서 후버의 칠러와 온도조절장치를 사용한다.
케미스카이는 국내 유일 후버 공식 파트너사다. 지난 2005년 독점대리점 계약을 맺고 반도체 공정에서 활용되는 다양한 온도조절장치와 칠러, 항온조 등을 국내에 공급하고 있다.
온도조절장치와 칠러는 웨이퍼와 마이크로칩 제조, 부품 냉각, 에칭 배스 등 반도체 공정 전 분야에서 다양하게 활용된다. 웨이퍼와 마이크로칩을 생산하는 과정에 필요한 습식케미컬을 생산할 때 에칭배스의 온도를 조절하기 위해서는 정밀하고 효율적인 칠러와 온도조절장치가 필요하다. 갈덴이나 FC77 등 비전도성 열유체(Thermofluids)를 사용하는 전자 부품 테스트에도 효과적으로 사용된다.
후버의 온도조절장치 대표 모델인 유니스탯 시리즈는 20년 이상 세계 판매된 제품이다. 정교한 온도 조절 기술 능력과 내구성과 대용량, 효율성 등 장점을 바탕으로 반도체를 비롯해 전기·전자 분야에서 폭넓게 사용된다. 후버의 모든 장비는 100% 독일 내에서 연구·개발·생산된다.
케미스카이 관계자는 “높은 신뢰성과 30년 역사에서 축적된 고도의 기술, 풍부한 경험의 전문 제조사와 함께 최첨단 기술을 국내에 소개해 관련 산업 발전에 일익을 담당하고 있다”면서 “국내 반도체 산업 분야에 경쟁력 있고 우수 품질의 장비를 공급하기 위해 최선을 다하겠다”고 말했다.
정현정기자 iam@etnews.com
