올해 IMID 전시회에 참여한 국내 주요 장비기업이 일제히 최신 기술 제품을 선보인다. 한층 고도화된 유기발광다이오드(OLED)의 신뢰성과 양산성을 높일 수 있는 기술로 무장했다.
세계 디스플레이 장비 시장은 중소형 플렉시블 OLED 시장이 당초 기대보다 빠르게 성장하지 않고 중국발 공급과잉 우려가 커지면서 투자 규모가 줄고 있다. 시장조사업체 DSCC는 디스플레이 장비 지출이 2017년 245억달러로 정점을 찍었다가 2018년 214억달러, 2019년 198억달러, 2021년 159억달러로 줄어든다고 분석했다.
투자가 매년 줄어들 것으로 예상되지만 삼성디스플레이의 대형 QD-OLED 투자, 중국의 대형 OLED 투자 등 성장 기회에 대한 기대감도 여전하다. 차세대 기술 투자가 예상되는 만큼 완성도 높은 기술력으로 사업 기회를 선점하려는 국내외 장비기업 경쟁이 치열하다.
에스에프에이는 OLED 증착기, 솔루션 공정장비인 R2P 임프린터, 필름 라미네이터, 클린 물류시스템용 핵심 장비를 선보인다. 이 중 중국 패널사에 양산용으로 공급한 OLED 증착기는 좋은 성적을 내고 있다. 증착기를 비롯해 새로운 솔루션 공정장비 등으로 영역 확대를 꾀한다.
AP시스템은 새로 개발한 턴키 방식 6세대 박막봉지(TFE) 공정장비 시스템을 중점 선보인다. 원자층 증착법으로 고품질 무기막을 증착할 수 있는 HyDEP와 L-ALD 장비, 기존 잉크젯 프린터 방식을 대체하도록 진공에서 플라즈마 중합반응으로 유기막을 증착하는 PoCVD 장비를 내세운다. 800ppi UHD급 이상 파인메탈마스크(FMM)를 제조할 수 있는 레이저 장비도 소개한다.
검사·계측장비 기업도 다수 전시회에 참여했다. 디스플레이 기술 난도가 높아져 작은 파티클에도 불량이 발생할 정도로 민감해진 만큼 기술을 고도화한 검사·계측장비 수요가 꾸준히 발생하고 있다.
HB테크놀로지는 세계 최초로 0.4마이크로미터(㎛)와 0.6㎛ 결함 검도를 측정할 수 있는 부품실장검사(AOI) 장비를 전시한다. 빠른 속도와 고해상도의 카메라 기술과 독자 개발한 영상처리 알고리즘이 핵심이다. AOI 공정으로 결점 부분을 파악하고 이 부분을 레이저로 가공해 생산 수율을 높이는 레이저 리페어 시스템도 함께 선보인다.
에스피텍은 자동차용 디스플레이를 측정·평가하는 장비를 집중 소개한다. 이미 해외 자동차 업계에 양산 공급했으며 국산 계측장비에 대한 사용 승인도 받았다. 자동차 디스플레이용 측정 평가방법에 대한 특허를 획득했다.
앤비젼은 AOI 검출력을 높이는 라인 스캔 솔루션, 고해상도 대면적 스캔 카메라 솔루션 등을 선보인다. 한 번 스캔해 세 가지 이미지 조건 영상을 획득하는 '멀티-필드 이미징' 기술을 탑재한게 특징이다. 플렉시블 OLED의 내부 필름의 미세 눌림 결함을 검사하는 솔루션 등 다양한 머신비전 솔루션을 전시한다.
자동검안기를 국내 처음으로 공급한 휴비츠는 기존 광학 기술을 토대로 휴대폰, 디스플레이, 필름 등의 검사장비를 개발했다. 근적외선(NIR) 간섭현상을 이용한 비파괴 3차원 스캔으로 물체 내면을 촬영해 결함을 찾아낸다.
이 외에 신한과학은 BT2020에 대응할 수 있는 2D분광방사계, 티브이로직은 비덴트의 측색기 CR 시리즈를 선보인다.
배옥진 디스플레이 전문기자 withok@etnews.com
