반도체·디스플레이 세정용 기능수 장비를 공급하는 이피아이 인스트루먼츠(대표 전재선)가 최근 LG디스플레이 1차 협력사에 등록했다. 중소기업이 2, 3차 협력사로 등록되는 사례는 많지만 직접 1차 협력사로 등록되는 경우는 드물다.
이피아이는 삼성전자, SK하이닉스, 삼성디스플레이, DB하이텍 등에 장비를 공급하고 있다. 국내 기업뿐만 아니라 글로벌 반도체·디스플레이 기업을 고객사로 확보했다. 마이크론, 도시바, 글로벌 파운드리, UMC, 소니, SMI에도 장비를 공급한다. 중국 패널 제조사 BOE와 차이나스타에도 양산용 장비를 납품했다.
이피아이는 반도체·디스플레이 세정 공정에 사용하는 기능수를 제조·공급하는 장비 전문 기업이다. 세정장비 기업과 반도체·디스플레이 제조사에 직접 공급한다. 오존공급장치, 화학물질을 사용하지 않는 하이드로젠 시스템, 리모트 플라즈마 모니터, 파티클 프로텍터 필터(PPF), 오존을 수리·정비하는 오존 제너레이터 리페어 장비 등 제품군을 갖췄다. 오존장치 및 제조 방법, 오존발생장치 및 제조 방법 등 특허를 다수 보유했다.
세정 공정에서 사용하는 기능수는 가스를 용해한 세정액이다. 수소수, 오존수, 질소수 등 종류가 다양하다. 웨이퍼나 패널에 파티클이 남지 않도록 세정 효과가 높아야 하고, 동시에 재료가 부식되지 않아야 한다.
이피아이는 수소수 시스템을 디스플레이 시장에 확대 공급할 계획이다. 수소수는 반도체 세정 공정에 먼저 적용하고 있다. 공정 미세화가 중요해지고 도입이 빨라지면서 세정 단계에서 파티클이 발생하지 않도록 더 엄격한 세정이 요구됐기 때문이다.
디스플레이 시장에서도 수소수 세정에 쏠린 관심이 커졌다. 고해상도 수요가 증가했고, 특히 중소형 유기발광다이오드(OLED)는 파티클이 발생하면 수율이 급격히 낮아지기 때문이다.
이피아이는 LG디스플레이 1차 협력사로 등록됨에 따라 중소형 플렉시블 OLED 생산 라인에 장비를 공급하는 방안을 협의하고 있다.
이피아이 관계자는 23일 “중소형 OLED 수율을 높이는 방안 가운데 하나로 세정력을 높이는 기술에 관심이 커졌다”면서 “국내외 시장에서 이피아이 기술과 노하우를 알려 나가겠다”고 말했다.
<이피아이 인스트루먼츠 개요>
배옥진 디스플레이 전문기자 withok@etnews.com
