국제반도체장비재료협회(SEMI)는 반도체 생산장비 에너지 사용량 측정과 온실가스 배출 저감 관련 한글 가이드북을 발간했다고 19일 밝혔다.
가이드북은 ▲SEMI S23-0813 ▲SEMI S29-0712이다.
SEMI S23-0813은 반도체 제조 장비에서 에너지, 유틸리티, 물질 절감 개념을 소개하고 이에 대한 사용과 측정법, 개선 방안을 제시한다. SEMI S29-0712는 제조 장비에서 배출되는 불소계 온실가스(F-GHG)와 FC가스 경감 도구의 처리 효율 특성과 온실가스 배출량을 감소시키는 개선 방안을 다룬다.
SEMI 관계자는 “반도체 생산장비 에너지 사용량 측정과 온실가스 배출 저감에 대한 2건의 가이드는 현 반도체 산업이 직면한 환경문제 개선에 큰 도움이 될 것”이라고 말했다.
SEMI는 40여년간 반도체 장비에 필요한 환경, 보건, 안전 요건을 정의하는 26건의 안전 가이드라인을 개발해 업계에 제공해왔다. 2013년부터 한글화 작업과 분야별 교육을 매년 진행하고 있다.
한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com
