기계연, 청각장애인용 고감도 MEMS 마이크로폰 개발

국내 산학연 연구진이 소리를 눈으로 볼 수 있는 청각장애인용 마이크로폰을 개발했다.

한국기계연구원(원장 최태인)은 나노자연모사연구실 허신 박사 연구팀이 미래창조과학부 신경모방 소자 및 인지시스템 융합연구단(단장 우삼용)의 지원을 받아 소리를 시각화한 초소형 청각소자를 처음으로 개발했다고 7일 밝혔다.

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허신 한국기계연구원 책임연구원

기술개발에는 이화여대와 다빛다인이 참여했다. 예산은 23억원이 투입됐다.

마이크로폰 소자는 4인치 실리콘 웨이퍼 기준으로 수백개의 소자를 대량 제조할 수 있는 미세전자기계시스템(MEMS) 공정기술을 이용했다. 내년 개발이 예정된 8인치 웨이퍼로 제조할 경우 소자 1개당 1달러 미만으로 생산이 가능할 것으로 연구진은 내다봤다.

연구진은 실리콘 기판에 마이크로폰 소자 및 CMOS 신호처리소자를 제작한 뒤 이 두 소자를 6×7㎜크기의 MEMS 마이크로폰으로 패키징했다.

개발된 MEMS 마이크로폰은 청각장애인의 청각보조용 장치에 적용해 음원을 가시화할 수 있도록 일반적인 MEMS 마이크로폰 감도(-42.0㏈)보다 우수한 감도(〃37㏈) 및 넓은 주파수 대역 (100~5000㎐)을 갖도록 설계했다.

휴대폰·노트북·카메라·의료기기·오락기·음향 진단기기·산업분야의 소음진단 등에도 응용이 가능하다.

연구진은 올해 말까지 소자 크기를 4×4㎜까지 줄일 계획이다.

연구책임자인 허신 책임연구원은 “MEMS 마이크로폰 소자는 전량 외국에서 수입되고 있으나, 향후 상용화되면 10억달러의 수출 및 수입대체 효과가 예상된다”며 “사업이 종료되는 내년에는 휴대폰용 마이크로폰 소자를 개발, 상용화하게 될 것”이라고 말했다.


대전=박희범기자 hbpark@etnews.com

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