국내 벤처기업이 수입에 의존해 오던 반도체 라인용 8축 진공로봇을 국산화했다.
반도체용 진공로봇은 기술 난이도와 진입 장벽이 높아 국내 수요기업 대부분이 일본 제품을 수입해 사용했다. 이번 국산화로 최소 100억원 이상의 수입 대체효과가 기대된다.
반도체 및 평판디스플레이패널(FPD) 생산라인용 물류 이송 로봇 전문업체인 나온테크(대표 김원경)는 반도체 생산라인에서 웨이퍼 2장을 한꺼번에 처리할 수 있는 지능형 8축 진공로봇 `백트라(Vactra)Q`와 진공챔버를 개발, 양산 준비 중이라고 3일 밝혔다.
반도체용 진공로봇은 웨이퍼를 진공상태인 공정챔버로 이송시키는 장치다. 나온테크가 이번에 개발한 8축 진공로봇은 4개의 팔(Arm)에 4절 링크 구조를 적용, 고속으로 웨이퍼 2장을 각각 또는 동시에 이송할 수 있도록 했다. 일반 듀얼 암 이송 로봇에 비해 생산성을 2배로 높였다. 웨이퍼 슬라이딩을 자동으로 보정하는 AWC(Auto Wafer Centering) 기능도 탑재했다.
또 링크 구조로 설계해 고온·내부 식성 환경에서도 매우 정밀하게 동작하도록 했다. 회전 반경이 기존 로봇보다 작아 진공 이송 챔버 크기도 30% 줄일 수 있다.
함께 개발한 진공챔버 모듈은 3~4개 공정챔버를 부착할 수 있는 장치 6~8개를 설치할 수 있도록 해 생산성을 높였다.
나온테크는 하반기 중에 태양전지 이송 로봇과 휴대폰용 터치패널 이송 로봇 등도 개발해 선보이는 등 이송 로봇 제품군을 계속 늘려나갈 계획이다. 이 회사는 그동안 반도체 웨이퍼 이송 로봇과 FPD 유리 이송 로봇 등을 개발해 삼성전자와 SK하이닉스, LG디스플레이 등에 공급해 왔다.
김원경 나온테크 사장은 “반도체 라인용 8축 진공로봇은 지난 1월 코엑스에서 열린 `세미콘 코리아`에 처음 선보인 데 이어 최근 장비업체와 양산을 위한 협력을 진행하는 등 국내 시장 보급을 준비하고 있다”며 “워낙 고가 장비라 최소 100억원 이상의 수입 대체효과를 거둘 수 있을 것으로 예상된다”고 말했다.
그는 “이번 8축 진공로봇 국산화를 시작으로 반도체 라인 이송 로봇과 자동화 모듈 통합 솔루션을 제공하는 전문기업으로 도약할 계획”이라고 덧붙였다.
김순기기자 soonkkim@etnews.com
